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1. (WO2018197010) SYSTÈME DE VIDE ET PROCÉDÉ DE DÉPÔT D'UNE PLURALITÉ DE MATÉRIAUX SUR UN SUBSTRAT

Pub. No.:    WO/2018/197010    International Application No.:    PCT/EP2017/060242
Publication Date: Fri Nov 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Sat Apr 29 01:59:59 CEST 2017
IPC: C23C 14/04
C23C 14/12
C23C 14/56
H01L 51/00
H01L 21/67
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC.
HEIMEL, Oliver
Inventors: HEIMEL, Oliver
Title: SYSTÈME DE VIDE ET PROCÉDÉ DE DÉPÔT D'UNE PLURALITÉ DE MATÉRIAUX SUR UN SUBSTRAT
Abstract:
L'invention concerne un système de vide (100) permettant de déposer une pluralité de matériaux sur un substrat. Le système de vide comprend une pluralité de modules de dépôt (110) agencés le long d'un sens de transport principal (P) et comprenant des sources de dépôt (105) qui sont mobiles dans le sens de transport principal (P) ; et un système de transport comportant une pluralité de pistes (120) s'étendant dans le sens de transport principal (P) à travers la pluralité de modules de dépôt et comprenant une première piste de masque (121) pour le transport de masque, une première piste de substrat (122) pour le transport de substrat et une piste de retour (123) pour renvoyer des supports vides.