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1. (WO2018197008) PROCÉDÉ DE NETTOYAGE D'UN SYSTÈME À VIDE UTILE À LA FABRICATION DE DISPOSITIFS OLED, PROCÉDÉ DE DÉPÔT SOUS VIDE SUR UN SUBSTRAT POUR FABRIQUER DES DISPOSITIFS OLED, ET APPAREIL DE DÉPÔT SOUS VIDE SUR UN SUBSTRAT POUR FABRIQUER DES DISPOSITIFS OLED

Pub. No.:    WO/2018/197008    International Application No.:    PCT/EP2017/060239
Publication Date: Fri Nov 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Sat Apr 29 01:59:59 CEST 2017
IPC: C23C 14/56
C23C 14/12
H01L 51/56
C23C 16/44
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC.
DIEGUEZ-CAMPO, Jose Manuel
KELLER, Stefan
LEE, Jae Won
ANJIKI, Takashi
HAAS, Dieter
Inventors: DIEGUEZ-CAMPO, Jose Manuel
KELLER, Stefan
LEE, Jae Won
ANJIKI, Takashi
HAAS, Dieter
Title: PROCÉDÉ DE NETTOYAGE D'UN SYSTÈME À VIDE UTILE À LA FABRICATION DE DISPOSITIFS OLED, PROCÉDÉ DE DÉPÔT SOUS VIDE SUR UN SUBSTRAT POUR FABRIQUER DES DISPOSITIFS OLED, ET APPAREIL DE DÉPÔT SOUS VIDE SUR UN SUBSTRAT POUR FABRIQUER DES DISPOSITIFS OLED
Abstract:
La présente invention concerne un procédé (100) de nettoyage d'un système sous vide utile à la fabrication de dispositifs OLED. Le procédé (100) comprend la réalisation d'un pré-nettoyage destiné au nettoyage d'au moins une partie du système à vide, et la réalisation d'un nettoyage au plasma à l'aide d'une source de plasma à distance.