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1. (WO2018196753) DISPOSITIF CHAUFFANT DESTINÉ À UNE CHAMBRE DE PRÉCHAUFFAGE REPOSANT SUR LE LPCVD

Pub. No.:    WO/2018/196753    International Application No.:    PCT/CN2018/084288
Publication Date: Fri Nov 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Wed Apr 25 01:59:59 CEST 2018
IPC: C23C 16/48
Applicants: BEIJING JUNTAI INNOVATION TECHNOLOGY CO., LTD
君泰创新(北京)科技有限公司
Inventors: MA, Zheng
马峥
Title: DISPOSITIF CHAUFFANT DESTINÉ À UNE CHAMBRE DE PRÉCHAUFFAGE REPOSANT SUR LE LPCVD
Abstract:
L'invention concerne un dispositif chauffant destiné à une chambre de préchauffage reposant sur le dépôt chimique en phase vapeur sous pression réduite (LPCVD). Le dispositif chauffant est disposé dans une chambre de préchauffage, et destiné à chauffer un substrat en verre. Le dispositif chauffant comprend : un collecteur de température, un module chauffant et un dispositif de commande lié au module chauffant, le collecteur de température étant relié au dispositif de commande et destiné à collecter la température du module chauffant ; le module chauffant comprend plusieurs zones de commande de température transversales et plusieurs zones de commande de température longitudinales, chacune des zones de commande de température transversales et chacune des zones de commande de température longitudinales étant respectivement dotée d'un tube en carbone de lumière infrarouge à onde moyenne ; chaque tube en carbone de lumière infrarouge à onde moyenne de chaque zone de commande de température transversale est perpendiculaire à la section transversale au niveau d'une ouverture de la chambre de préchauffage ; chaque tube en carbone de lumière infrarouge à onde moyenne de chaque zone de commande de température longitudinale est parallèle à la section transversale au niveau de l'ouverture de la chambre de préchauffage ; et la forme du tube en carbone de lumière infrarouge à onde moyenne de la zone de commande de température longitudinale correspondant à la position d'une partie gauchissement du substrat de verre correspond au degré de gauchissement de la partie gauchissement, permettant ainsi un chauffage uniforme d'un substrat en verre présentant une partie gauchissement.