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1. (WO2018196466) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE MESURE D'UN PARAMÈTRE MÉCANIQUE D'UNE STRUCTURE DE FILM MINCE COMPOSITE MULTICOUCHE

Pub. No.:    WO/2018/196466    International Application No.:    PCT/CN2018/076248
Publication Date: Fri Nov 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Mon Feb 12 00:59:59 CET 2018
IPC: G01N 3/00
Applicants: SOUTHEAST UNIVERSITY
东南大学
Inventors: ZHOU, Zaifa
周再发
SUN, Chao
孙超
GUO, Xinge
郭欣格
HUANG, Qingan
黄庆安
Title: PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE MESURE D'UN PARAMÈTRE MÉCANIQUE D'UNE STRUCTURE DE FILM MINCE COMPOSITE MULTICOUCHE
Abstract:
L'invention concerne un procédé de mesure d'un paramètre mécanique d'une structure de film mince composite multicouche, et un dispositif de mesure d'un paramètre mécanique d'une structure de film mince composite multicouche se rapportant au domaine technique du test en ligne de paramètres de matériaux d'un système micro-électromécanique (MEMS). Grâce au procédé, en fonction de la relation entre une fréquence de résonance de premier ordre d'une poutre bi-encastrée composite multicouche et d'une poutre en porte-à-faux composite multicouche et de paramètres tels qu'une caractéristique de matériau et une taille de structure, un module de Young équivalent de chaque couche d'une structure de film mince composite multicouche et une contrainte résiduelle équivalente de chaque couche sont obtenus en une étape au moyen de la résolution d'un ensemble d'équations, ce qui permet de satisfaire le test en ligne d'un matériau de film mince multicouche, de présenter une structure de test et un procédé de calcul simple, et de présenter une précision plus élevée.