Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales

1. (WO2018196069) PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN TRANSISTOR À COUCHES MINCES INORGANIQUES, ET DISPOSITIF D'AFFICHAGE SOUPLE

Pub. No.:    WO/2018/196069    International Application No.:    PCT/CN2017/085562
Publication Date: Fri Nov 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Wed May 24 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/336
H01L 29/06
H01L 21/683
H01L 27/32
Applicants: WUHAN CHINA STAR OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY CO., LTD
武汉华星光电技术有限公司
Inventors: LIANG, Bo
梁博
Title: PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN TRANSISTOR À COUCHES MINCES INORGANIQUES, ET DISPOSITIF D'AFFICHAGE SOUPLE
Abstract:
L'invention concerne un procédé de fabrication d'un transistor à couches minces inorganiques, consistant à : former séquentiellement une couche semi-conductrice de type P (210) et une couche semi-conductrice de type N (220) sur un substrat dur (100); former, dans la couche semi-conductrice de type P, une rainure (230) qui s'étend à travers la couche semi-conductrice de type N; former, sur la couche semi-conductrice de type N, une source (310) et un drain (320) qui sont respectivement situés sur deux côtés de la rainure; transférer la couche semi-conductrice de type P, la couche semi-conductrice de type N, la source et le drain vers un substrat souple (400) au moyen d'un transfert par roulement; former séquentiellement une couche d'isolation de grille (600) et une grille (700) sur la couche semi-conductrice de type P; et former, sur la couche d'isolation de grille, une couche plate (800) recouvrant la grille. L'invention concerne également un dispositif d'affichage souple comprenant un transistor à couches minces inorganiques fabriqué au moyen du procédé de fabrication. Un transistor à couches minces inorganiques approprié pour un procédé d'affichage souple et ayant de bonnes propriétés électriques est fabriqué au moyen d'un procédé de nano-impression; un dispositif de transistor à couches minces inorganiques à canal étroit est obtenu par conception de la structure du transistor à couches minces inorganiques. L'exigence de traitement est réduite, et les coûts sont réduits.