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1. (WO2018196036) DIAPHRAGME DE DÉTECTION ET MICROPHONE MEMS
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N° de publication : WO/2018/196036 N° de la demande internationale : PCT/CN2017/083569
Date de publication : 01.11.2018 Date de dépôt international : 09.05.2017
CIB :
G01H 11/08 (2006.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
H
MESURE DES VIBRATIONS MÉCANIQUES OU DES ONDES ULTRASONORES, SONORES OU INFRASONORES
11
Mesure des vibrations mécaniques ou des ondes ultrasonores, sonores ou infrasonores par détection des changements dans les propriétés électriques ou magnétiques
06
par des moyens électriques
08
utilisant des dispositifs piézo-électriques
Déposants :
歌尔股份有限公司 GOERTEK. INC [CN/CN]; 中国山东省潍坊市 高新技术开发区东方路268号 No.268 Dongfang Road, Hi-Tech Industry District Weifang, Shandong 261031, CN
Inventeurs :
詹竣凱 ZHAN, Junkai; CN
周宗燐 ZHOU, Zonglin; CN
蔡孟錦 CAI, Mengjin; CN
王宇 WANG, Yu; CN
Mandataire :
北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) BEYOND TALENT PATENT AGENT FIRM; 中国北京市 朝阳区朝阳门外大街10号昆泰大厦1202单元 Room 1202, Kuntai Building #10 Chaoyangmenwai Str., Chaoyang District Beijing 100020, CN
Données relatives à la priorité :
201710297168.728.04.2017CN
Titre (EN) SENSING DIAPHRAGM AND MEMS MICROPHONE
(FR) DIAPHRAGME DE DÉTECTION ET MICROPHONE MEMS
(ZH) 一种感测膜片以及MEMS麦克风
Abrégé :
(EN) A sensing diaphragm and an MEMS microphone. The sensing diaphragm comprises a sensitive part (2) located in a middle area, and a fixing part (5) located at the edge of the outer side of the sensitive part (2) and integrally formed with the sensitive part (2); the sensing diaphragm further comprises a gap part (4) that extends from the fixing part (5) to the edge position of the sensitive part (2) and is not closed; the gap part (4) forms, on the sensing diaphragm, a holding part (3) with a root part located at the fixing part (5) and a free end extending to the upper edge position of the sensitive part (2); the sensitive part (2) is configured to move relative to the holding part (3) when being impacted, so as to form an airflow channel between the holding part (3) and the sensitive part (2). Compared with a conventional pressure relief valve structure, the sensing diaphragm has less influence on the vibration characteristic of the sensitive part, so that the sensitive part has better dynamic stability.
(FR) L'invention concerne un diaphragme de détection et un microphone MEMS. Le diaphragme de détection comprend une partie sensible (2) située dans une zone centrale et une partie fixation (5) située au niveau du bord du côté extérieur de la partie sensible (2) et formée d'un seul tenant avec la partie sensible (2) ; le diaphragme de détection comprend en outre une partie espace (4) qui s'étend depuis la partie fixation (5) jusqu'à la position de bord de la partie sensible (2) et n'est pas fermée ; la partie espace (4) forme, sur le diaphragme de détection, une partie maintien (3) avec une partie racine située au niveau de la partie fixation (5) et une extrémité libre s'étendant jusqu'à la position de bord supérieur de la partie sensible (2) ; la partie sensible (2) est conçue pour se déplacer par rapport à la partie maintien (3) lorsqu'elle est impactée, de façon à former un canal d'écoulement d'air entre la partie maintien (3) et la partie sensible (2). Par comparaison avec une structure de soupape de surpression classique, la membrane de détection a moins d'influence sur la caractéristique de vibration de la partie sensible, de telle sorte que la partie sensible présente une meilleure stabilité dynamique.
(ZH) 一种感测膜片及MEMS麦克风,包括位于中部区域的敏感部(2),以及位于敏感部(2)外侧边缘且与敏感部(2)一体成型的固定部(5);还包括从固定部(5)延伸至敏感部(2)边缘位置且非封闭的缝隙部(4),缝隙部(4)在感测膜片上围成了根部位于固定部(5)上、自由端延伸至敏感部(2)上边缘位置的保持部(3);敏感部(2)被配置为在受到冲击时相对于保持部(3)发生位移,以在保持部(3)与敏感部(2)之间形成气流流通通道。感测膜片不同于传统的泄压阀结构,对敏感部的振动特性影响较小,敏感部的动态稳定性更好。
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Langue de publication : chinois (ZH)
Langue de dépôt : chinois (ZH)