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1. (WO2018193890) CAPTEUR DE VITESSE ANGULAIRE ET PROCÉDÉ DE COMMANDE DE CAPTEUR DE VITESSE ANGULAIRE
Document

明 細 書

発明の名称 角速度センサおよび角速度センサの制御方法

技術分野

0001  

背景技術

0002  

先行技術文献

特許文献

0003  

発明の概要

0004   0005   0006  

図面の簡単な説明

0007  

発明を実施するための形態

0008   0009   0010   0011   0012   0013   0014   0015   0016   0017   0018   0019   0020   0021   0022   0023   0024   0025   0026   0027   0028   0029   0030   0031   0032   0033   0034   0035   0036   0037   0038   0039   0040   0041   0042   0043   0044   0045   0046   0047   0048   0049   0050   0051   0052   0053   0054   0055   0056   0057   0058   0059   0060   0061   0062   0063   0064   0065   0066   0067   0068   0069   0070   0071   0072  

産業上の利用可能性

0073  

符号の説明

0074  

請求の範囲

1   2   3   4   5   6   7   8   9   10   11   12  

図面

1   2A   2B   3   4   5   6   7   8  

明 細 書

発明の名称 : 角速度センサおよび角速度センサの制御方法

技術分野

[0001]
 本発明は、自動車の制御等に用いられる角速度センサに関するものである。

背景技術

[0002]
 従来、高精度な角速度センサを提供する目的で、駆動周波数と検出周波数を一致させる制御(モードマッチ制御)を採用するセンサが知られている。この様な角速度センサにする先行技術文献としては、例えば、特許文献1、2が知られている。

先行技術文献

特許文献

[0003]
特許文献1 : 米国特許第8061201号明細書
特許文献2 : 米国特許第8322213号明細書

発明の概要

[0004]
 しかしながら、従来のセンサでは増大し続けている高精度化への要求に応えるには不十分である。そこで本開示は、精度、あるいは、信頼性を向上した角速度センサを提供する。
[0005]
 上記目的を解決するために本開示は、角速度センサ素子と、駆動回路と、検出回路と、基準電位供給回路と、を備える。角速度センサ素子は、モニタ電極、駆動電極、センス電極及び錘部を有する。駆動回路は、駆動電極へ電気信号を印加して錘部を駆動する。検出回路は、センス電極から錘部の変位により生じる電気信号が入力される。基準電位供給回路は、角速度センサ素子に基準電位を供給する。基準電位供給回路は、第1CV変換部(Cはキャパシタンス、Vは電圧)と、第2CV変換部と、比較器と、基準電位調整回路と、を有する。第1CV変換部は、モニタ電極に接続する。第2CV変換部は、センス電極に接続する。比較器は、第1CV変換部から出力される信号の周波数と第2CV変換部から出力される信号の周波数とを比較し、当該比較結果に応じた信号を出力する。基準電位調整回路は、比較結果に応じた信号が入力され、第1CV変換部又は第2CV変換部へ信号を出力する。
[0006]
 本開示の角速度センサは、高精度であるので、例えば、自動車の舵姿勢制御等に用いる角速度センサとして有用である。

図面の簡単な説明

[0007]
[図1] 本実施の形態の角速度センサが備える角速度センサ素子を示す図
[図2A] 図1の一部を拡大した図
[図2B] 図1の一部を拡大した図
[図3] 同角速度センサ素子の駆動動作を示す図
[図4] 同角速度センサ素子の検出動作を示す図
[図5] 同角速度センサ素子に接続される駆動回路及び検出回路を示すブロック図
[図6] 同角速度センサ素子に接続される基準電位供給回路を示すブロック図
[図7] 同角速度センサ素子を備える角速度センサの模式図
[図8] ハッチング、塗りつぶし、およびバネを表す記号の説明図

発明を実施するための形態

[0008]
 以下、本開示の実施の形態における角速度センサについて図面を参照しながら説明する。
[0009]
 図1は、本実施の形態の角速度センサが備える角速度センサ素子10を示す上面図である。図2Aおよび図2Bは、図1の一部を拡大した図である。なお、図1、図2Aおよび図2Bでは角速度センサ素子10が備える上蓋は、説明の便宜の為に省略する。なお、図1、図2Aおよび図2Bにおけるハッチングや塗りつぶし、バネ28を表す記号については、図8に示されている。
[0010]
 角速度センサ素子10は、レバー16a、レバー16b、可動部22a、可動部22b、可動部22c、可動部22d、可動部22e、可動部22f、可動部22g、可動部22h、錘部24a、錘部24b、バネ28(flexure)、固定部32a、固定部32b、固定部32c、固定部32dを備える。さらに、駆動電極35a、駆動電極35b、モニタ電極34a、モニタ電極34b、センス電極36a、センス電極36b、センス駆動電極37a、センス駆動電極37bを備える。なお、モニタ電極34a、モニタ電極34bを総称してモニタ電極34と記載してもよい。駆動電極35a、駆動電極35bを総称して駆動電極35と記載してもよい。センス電極36a、センス電極36bを総称してセンス電極36と記載してもよい。センス駆動電極37a、センス駆動電極37bを総称してセンス駆動電極37と記載してもよい。錘部24a、錘部24bを総称して錘部24と記載してもよい。
[0011]
 レバー16aは、可動部22a及び可動部22eにバネ28を介して接続される。レバー16bは、可動部22c及び可動部22gにバネ28を介して接続される。レバー16a、レバー16bは、錘部24aから錘部24bへ(あるいは錘部24bから錘部24aへ)振動を伝達する。これにより、錘部24a、錘部24bが互いに(Y軸方向に)同相、あるいは逆相で振動する。
[0012]
 可動部22a~22dは、錘部24aとバネ28を介して接続される。可動部22a~22dは、錘部24aの四方を囲むように配置される。
[0013]
 可動部22aは、櫛歯部22a1を有する。櫛歯部22a1は、駆動電極35a及びモニタ電極34aと一定のギャップを空けて設けられている。
[0014]
 可動部22bは、櫛歯部22b1を有する。櫛歯部22b1は、センス電極36b及びセンス駆動電極37bと一定のギャップを空けて設けられている。
[0015]
 可動部22cは、櫛歯部22c1を有する。櫛歯部22c1は、駆動電極35b及びモニタ電極34bと一定のギャップを空けて設けられている。
[0016]
 可動部22dは、櫛歯部22d1を有する。櫛歯部22d1は、センス電極36a及びセンス駆動電極37aと一定のギャップを空けて設けられている。
[0017]
 可動部22e~22hは、錘部24bとバネ28を介して接続される。可動部22e~22hは、錘部24bの四方を囲むように配置される。
[0018]
 可動部22eは、櫛歯部22e1を有する。櫛歯部22e1は、駆動電極35c及びモニタ電極34cと一定のギャップを空けて設けられている。
[0019]
 可動部22fは、櫛歯部22f1を有する。櫛歯部22f1は、センス電極36c及びセンス駆動電極37cと一定のギャップを空けて設けられている。
[0020]
 可動部22gは、櫛歯部22g1を有する。櫛歯部22g1は、駆動電極35d及びモニタ電極34dと一定のギャップを空けて設けられている。
[0021]
 可動部22hは、櫛歯部22h1を有する。櫛歯部22h1は、センス電極36d及びセンス駆動電極37d一定のギャップを空けて設けられている。
[0022]
 駆動電極35aは、櫛歯部22a1に静電力を印加する。駆動電極35bは、櫛歯部22c1に静電力を印加する。これにより、可動部22aおよび可動部22cはY軸方向に振動する。この可動部22aおよび可動部22cの振動がバネ28を介して錘部24aに伝達されることにより、錘部24aがY軸方向に振動する。
[0023]
 駆動電極35cは、櫛歯部22e1に静電力を印加する。駆動電極35dは、櫛歯部22g1に静電力を印加する。これにより、可動部22eおよび可動部22gはY軸方向に振動する。この可動部22eおよび可動部22gの振動がバネ28を介して錘部24bに伝達されることにより、錘部24bがY軸方向に振動する。
[0024]
 錘部24aは、前述の通りY軸方向に振動する。この振動状態において、外部から角速度が印加されると、コリオリの力が錘部24aに作用することにより、錘部24aにX軸方向の振動が発生する。このX軸方向の振動に起因して可動部22bおよび可動部22dがX軸方向に振動する。
[0025]
 錘部24bは、前述の通りY軸方向に振動する。この振動状態において、外部から角速度が印加されると、コリオリの力が錘部24bに作用することにより、錘部24bにX軸方向の振動が発生する。このX軸方向の振動に起因して可動部22fおよび可動部22hがX軸方向に振動する。
[0026]
 センス電極36a、センス電極36bは、可動部22bおよび可動部22dのX軸方向振動により、櫛歯部22b1と櫛歯部22d1との間のギャップが変化する。このギャップの変化を後述する検出回路で検出する。これにより、角速度が検出できる。
[0027]
 センス電極36c、センス電極36dは、可動部22fおよび可動部22hのX軸方向振動により、櫛歯部22f1と櫛歯部22h1との間のギャップが変化する。このギャップの変化を後述する検出回路で検出する。これにより、角速度が検出できる。
[0028]
 固定部32a~32dは、バネ28を介して各部材を支持する。
[0029]
 図3は、角速度センサ素子の駆動動作を示す図である。なお、図3におけるハッチングや塗りつぶし、バネ28を表す記号については、図8に示されている。また、図3における白抜きの矢印は、力の方向を表す。
[0030]
 駆動電極35aは後述する駆動回路からドライブ電圧を印加することで、櫛歯部22a1に静電力を発生させる。駆動電極35bは後述する駆動回路からドライブ電圧を印加することで、櫛歯部22c1に静電力を発生させる。駆動電極35aと駆動電極35bに印加するドライブ電圧は互いに逆相とすることで静電力のつり合いの変化が発生し、錘部24aがY軸方向に振動する。
[0031]
 駆動電極35cは後述する駆動回路からドライブ電圧を印加することで、櫛歯部22e1に静電力を発生させる。駆動電極35dは後述する駆動回路からドライブ電圧を印加することで、櫛歯部22g1に静電力を発生させる。駆動電極35cと駆動電極35dに印加するドライブ電圧は互いに逆相とすることで静電力のつり合いの変化が発生し、錘部24bがY軸方向に振動する。
[0032]
 このとき、駆動電極35aと駆動電極35cに印加するドライブ電圧を同相とすることで錘部24aと錘部24bとが互いに同相に振動し、駆動電極35aと駆動電極35cに印加されるドライブ電圧を逆相とすることで錘部24aと錘部24bとが互いに逆相に振動する。
[0033]
 図4は、角速度センサ素子の検出動作を示す図である。なお、図4におけるハッチングや塗りつぶし、バネ28を表す記号については、図8に示されている。また、図4における白抜きの矢印は、力の方向を表す。
[0034]
 ドライブ電圧による静電力でY軸方向に振動している錘部24aおよび錘部24bに対して、垂直方向(Z軸)に外部から角速度が印加されると、直行方向(X軸)にコリオリの力が作用し、錘部24aおよび錘部24bがX軸方向に振動する。
[0035]
 錘部24aにX軸方向の振動が発生すると、櫛歯部22b1、櫛歯部22d1とセンス電極36a、センス電極36bとの間のギャップが変化する。このギャップの変化を静電容量の変化として後述する検出回路で検出する。
[0036]
 錘部24bにX軸方向の振動が発生すると、櫛歯部22f1、櫛歯部22h1とセンス電極36c、センス電極36dとの間のギャップが変化する。このギャップの変化を静電容量の変化として後述する検出回路で検出する。
[0037]
 図5は、角速度センサの駆動回路510及び検出回路520を示すブロック図である。駆動回路510は錘部24a、錘部24bを駆動する。検出回路520はコリオリ力に起因して生じる錘部24a、錘部24bの変位を検出する。
[0038]
 制御回路50は基準電位供給回路60、駆動回路510、検出回路520から成る。
[0039]
 基準電位供給回路60はモニタ信号CV変換部61、センス信号CV変換部62、周波数比較器63、基準電位調整回路64を有する。
[0040]
 モニタ信号CV変換部61はモニタ電極34bを通して角速度センサ素子10と接続されており、角速度センサ素子10がY軸方向に振動した際に各モニタ電極と各櫛歯部との間に生じた静電容量の変化を検知し、モニタ容量を容量変化に応じた電圧値であるモニタ信号65に変換する。
[0041]
 センス信号CV変換部62はセンス電極36を通して角速度センサ素子10と接続されており、角速度センサ素子10がX軸方向に振動した際にセンス電極36と櫛歯部との間に生じた静電容量の変化を検知し、センス容量を容量変化に応じた電圧信号であるセンス信号66に変換する。
[0042]
 周波数比較器63はモニタ信号65とセンス信号66の周波数を比較し、周波数の差分に応じた制御信号を基準電位調整回路64に送る。
[0043]
 基準電位調整回路64は周波数比較器63から受け取った制御信号に応じてモニタ信号CV変換部61、センス信号CV変換部62の基準電位を変更する。
[0044]
 駆動回路510はPLL(phase locked loop)511、AGC(auto gain control)512、ドライブ駆動回路513を有する。
[0045]
 PLL511はモニタ信号CV変換部61から受け取ったモニタ信号65の位相を検知し、モニタ信号と位相が同期した制御信号を生成する。
[0046]
 AGC512はモニタ信号65の振幅を検知し、角速度センサ素子10が所定の振幅で振動するように駆動信号の振幅を制御する制御信号をドライブ駆動回路513に送る。
[0047]
 ドライブ駆動回路513はAGC512から受け取った制御信号に応じてドライブ電圧の振幅を制御し、駆動電極35を通して角速度センサ素子10にドライブ電圧を印加する。
[0048]
 検出回路520は検波回路521、センス信号制御回路522、センス駆動回路523、LPF(Low Pass Filter)524、出力回路525を有する。
[0049]
 検波回路521はセンス信号CV変換部62から受け取ったセンス信号66に対して、PLL511で生成されたモニタ信号と位相が同期した制御信号に従って同期検波を行う。
[0050]
 センス信号制御回路522は検波回路521で同期検波を行った検波後信号を角速度量に換算し、得られた角速度量から角速度センサ素子10の検出振動を抑制させるようにセンス駆動信号の振幅を制御する制御信号を生成する。
[0051]
 センス駆動回路523はセンス信号制御回路522から受け取った制御信号に応じてセンス駆動電圧の振幅を制御し、センス駆動電極37を通して角速度センサ素子10にセンス駆動電圧を印加する。
[0052]
 LPF524はセンス信号制御回路522で得られた角速度量をローパスフィルタに通すことで、検知した角速度量を所望の周波数帯域のみを有する角速度信号に変換する。
[0053]
 出力回路525はLPF524で得られた角速度信号に対して出力形式の変換を行い、センサ信号として外部へ出力する。
[0054]
 図6は、角速度センサ素子に基準電位を供給する回路(基準電位供給回路60)を示すブロック図である。
[0055]
 基準電位供給回路60はモニタ信号CV変換部61、センス信号CV変換部62、周波数比較器63、基準電位調整回路64から成り、モニタ信号CV変換部61はCV変換回路61a、差動増幅回路61bを有している。
[0056]
 CV変換回路61aはモニタ電極34と櫛歯部との間に生じた静電容量の変化を検知し、モニタ容量を容量変化に応じた電圧値に変換する。CV変換回路61aは増幅器61a1、増幅器61a2、を有する。増幅器61a1及び増幅器61a2の非反転入力端子(図中の+の端子)は基準電位調整回路64と電気的に接続される。増幅器61a1の反転入力端子はモニタ電極34bに接続される。増幅器61a2の反転入力端子はモニタ電極34aに接続される。
[0057]
 差動増幅回路61bはCV変換回路61aから出力された互いに逆相となる電圧を所定の倍率に差動増幅を行い、モニタ信号65として出力する。
[0058]
 センス信号CV変換部62はCV変換回路62a、差動増幅回路62bを有している。
[0059]
 CV変換回路62aはセンス電極36と櫛歯部との間に生じた静電容量の変化を検知し、センス容量を容量変化に応じた電圧値に変換する。CV変換回路62aは増幅器62a1、増幅器62a2、を有する。増幅器62a1及び増幅器62a2の非反転入力端子(図中の+の端子)は基準電位調整回路64と電気的に接続される。増幅器62a1の反転入力端子はセンス電極36dに接続される。増幅器62a2の反転入力端子はセンス電極36cに接続される。
[0060]
 差動増幅回路61bはCV変換回路61aから出力された互いに逆相となる電圧を所定の倍率に差動増幅を行い、センス信号66として出力する。
[0061]
 周波数比較器63はモニタ信号65とセンス信号66の周波数を比較し、周波数の差分に応じた制御信号を生成し、基準電位調整回路64に送る。
[0062]
 基準電位調整回路64は倍率が可変となる増幅器(図中の可変利得増幅器64a、可変利得増幅器64b)で構成され、周波数比較器63から受け取った制御信号に応じて倍率を変更することで、モニタ基準電位67とセンス基準電位68をそれぞれ独立に制御する。
[0063]
 モニタ基準電位67が変化すると、イマジナリーショートの特性により、CV変換回路61aのもう一方の入力であるモニタ電極34がモニタ基準電位67と同電位となる。このとき、モニタ電極34と櫛歯部との電位差が変化することとなり、静電力の変化が発生する。この静電力の変化を制御することで錘部のY軸方向の振動周波数の調整が可能となる。
[0064]
 センス基準電位68が変化すると、イマジナリーショートの特性により、CV変換回路62aのもう一方の入力であるセンス電極36がセンス基準電位68と同電位となる。このとき、センス電極36と櫛歯部との電位差が変化することとなり、静電力の変化が発生する。この静電力の変化を制御することで錘部のX軸方向の振動周波数の調整が可能となる。
[0065]
 ここで周波数比較器63はモニタ信号65とセンス信号66の周波数が常に一致するように周波数を比較し、制御信号を生成するように動作させることで、角速度センサ素子10のX軸方向とY軸方向の振動周波数が常に一致するように制御を行う。その結果、角速度検出時における角速度センサ素子10のX軸方向の振動効率が上がることとなり、高精度な角速度の検出が可能となる。
[0066]
 図7は、角速度センサ素子10を備える角速度センサ70の模式図である。
[0067]
 角速度センサ70は、角速度センサ素子10、キャップ72、回路基板76、及びパッケージ78を備える。
[0068]
 角速度センサ素子10は、上蓋12と下蓋14との間に挟まれる。角速度センサ素子10の一部は上蓋12から露出し、この露出した部分に電極10aが設けられている。角速度センサ素子10は、回路基板76の上に配置され、回路基板76の電極76aとボンディングワイヤなどを用いて電気的に接続される。
[0069]
 回路基板76は、駆動回路、検出回路および基準電位供給回路を有する。
[0070]
 パッケージ78は、角速度センサ素子10、及び回路基板76を収容する。パッケージ78は、例えば、セラミックパッケージである。但しこれに限らず、パッケージ78はPCB(Printed Circuit Board)でもよい。
[0071]
 キャップ72は、パッケージ78を封止する。キャップ72は、例えば、板状の部材である。但しこれに限らず、角速度センサ素子10及び回路基板76をモールドする樹脂でもよい。
[0072]
 なお、本実施形態に係る技術をモニタ電極34、駆動電極35、センス電極36及び錘部24を有する角速度センサ素子10を備える角速度センサ70の制御方法であると説明する事もできる。そしてこの制御方法は、第1~第4ステップを含むものである。第1ステップは、モニタ電極からの信号をCV変換する。第2ステップは、センス電極からの信号をCV変換する。第3ステップは、第1ステップでCV変換した信号と第2ステップでCV変換した信号とを比較する。第4ステップは、第3ステップで得られた比較結果を元に前記モニタ電極から及び/又は前記センス電極に供給する信号を変化させる。ここで、第4ステップは、前記モニタ電極に供給する信号と、前記センス電極に供給する信号と、を互いに独立して変化させるステップである。

産業上の利用可能性

[0073]
 本開示のセンサは、高精度であるので、例えば、自動車の制御等に用いるセンサとして有用である。

符号の説明

[0074]
 10 角速度センサ素子
 10a 電極
 12 上蓋
 14 下蓋
 16a、16b レバー
 22a、22b、22c、22d、22e、22f、22g、22h 可動部
 22a1、22b1、22c1、22d1、22e1、22f1、22g1、22h1 櫛歯部
 24、24a、24b 錘部
 28 バネ
 32a、32b、32c、32d 固定部
 34、34a、34b、34c、34d モニタ電極
 35、35a、35b、35c、35d 駆動電極
 36、36a、36b、36c、36d センス電極
 37、37a、37b、37c、37d センス駆動電極
 60 基準電位供給回路
 61 モニタ信号CV変換部
 61a、62a CV変換回路
 61a1、61a2、62a1、62a2 増幅器
 61b、62b 差動増幅回路
 62 センス信号CV変換部
 63 周波数比較器
 64 基準電位調整回路
 64a、64b 可変利得増幅器
 70 角速度センサ
 72 キャップ
 76 回路基板
 76a 電極
 78 パッケージ
 510 駆動回路
 511 PLL
 512 AGC
 513 ドライブ駆動回路
 520 検出回路
 521 検波回路
 522 センス信号制御回路
 523 センス駆動回路
 524 LPF
 525 出力回路

請求の範囲

[請求項1]
モニタ電極、駆動電極、センス電極及び錘部を有する角速度センサ素子と、
前記駆動電極へ電気信号を印加して前記錘部を駆動する駆動回路と、
前記センス電極から前記錘部の変位により生じる電気信号が入力される検出回路と、
前記角速度センサ素子に基準電位を供給する基準電位供給回路と、を備え、
前記基準電位供給回路は、
 前記モニタ電極に接続する第1CV変換部と、
 前記センス電極に接続する第2CV変換部と、
 前記第1CV変換部から出力される信号の周波数と前記第2CV変換部から出力される信号の周波数とを比較し、比較結果に応じた信号を出力する比較器と、
 前記比較結果に応じた信号が入力され、前記第1CV変換部又は前記第2CV変換部へ信号を出力する基準電位調整回路と、を有する角速度センサ。
[請求項2]
第1CV変換部は第1増幅器と第2増幅器を有し、
第2CV変換部は第3増幅器と第4増幅器を有し、
前記第1増幅器及び前記第2増幅器の非反転入力端子は前記基準電位調整回路からの信号が入力される請求項1の角速度センサ。
[請求項3]
前記モニタ電極は第1モニタ電極及び第2モニタ電極を有し、
前記第1増幅器の反転入力端子は前記第1モニタ電極からの信号が入力され、
前記第2増幅器の反転入力端子は前記第2モニタ電極からの信号が入力される請求項2の角速度センサ。
[請求項4]
前記センス電極は第1センス電極及び第2センス電極を有し、
前記第3増幅器の反転入力端子は前記第1センス電極からの信号が入力され、
前記第4増幅器の反転入力端子は前記第2センス電極からの信号が入力される請求項2の角速度センサ。
[請求項5]
前記基準電位調整回路は第1可変利得増幅器及び第2可変利得増幅器を有し、
前記第1可変利得増幅器からの出力が前記第1増幅器及び前記第2増幅器の非反転入力端子に入力され、
前記第2可変利得増幅器からの出力が前記第3増幅器及び前記第4増幅器の非反転入力端子に入力される請求項2の角速度センサ。
[請求項6]
モニタ電極、駆動電極、センス電極及び錘部を有する角速度センサ素子と、
モニタ電極、駆動電極、センス電極と電気的に接続する回路と、を備え、
前記回路は、
 前記モニタ電極に接続する第1CV変換部と、
 前記センス電極に接続する第2CV変換部と、
 前記第1CV変換部と前記第2CV変換部とからの信号が入力され比較器と、
 比較器からの信号が入力され、前記第1CV変換部又は前記第2CV変換部へ信号を出力する出力回路と、を有する角速度センサ。
[請求項7]
前記第1CV変換部は第1増幅器と第2増幅器を有し、
前記第2CV変換部は第3増幅器と第4増幅器を有し、
前記第1増幅器及び前記第2増幅器は前記出力回路と接続される請求項6の角速度センサ。
[請求項8]
前記モニタ電極は第1モニタ電極及び第2モニタ電極を有し、
前記第1増幅器は前記第1モニタ電極と接続され、
前記第2増幅器は前記第2モニタ電極と接続される請求項7の角速度センサ。
[請求項9]
前記センス電極は第1センス電極及び第2センス電極を有し、
前記第3増幅器は前記第1センス電極と接続され、
前記第4増幅器は前記第2センス電極と接続される請求項7の角速度センサ。
[請求項10]
前記出力回路は第1可変利得増幅器及び第2可変利得増幅器を有し、
前記第1可変利得増幅器が前記第1増幅器及び前記第2増幅器に接続され、
前記第2可変利得増幅器が前記第3増幅器及び前記第4増幅器に接続される請求項7の角速度センサ。
[請求項11]
モニタ電極、駆動電極、センス電極及び錘部を有する角速度センサ素子を備える角速度センサの制御方法であって、前記制御方法は、
 前記モニタ電極からの信号をCV変換する第1ステップと、
 前記センス電極からの信号をCV変換する第2ステップと、
 前記第1ステップでCV変換した信号と前記第2ステップでCV変換した信号とを比較する第3ステップと、
 前記第3ステップで得られた比較結果を元に前記モニタ電極又は前記センス電極に供給する信号を変化させる第4ステップと、を有する角速度センサの制御方法。
[請求項12]
前記第4ステップは、前記モニタ電極に供給する信号と、前記センス電極に供給する信号と、を互いに独立して変化させる請求項11の角速度センサの制御方法。

図面

[ 図 1]

[ 図 2A]

[ 図 2B]

[ 図 3]

[ 図 4]

[ 図 5]

[ 図 6]

[ 図 7]

[ 図 8]