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1. (WO2018185987) SOURCE D'IONS ET IMPLANTEUR D'IONS

Pub. No.:    WO/2018/185987    International Application No.:    PCT/JP2017/046987
Publication Date: Fri Oct 12 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Dec 28 00:59:59 CET 2017
IPC: H01J 27/02
H01J 37/08
H01J 37/317
H01L 21/265
Applicants: ULVAC, INC.
株式会社アルバック
Inventors: YUZE Takumi
湯瀬 琢巳
TERASAWA Toshihiro
寺澤 寿浩
SASAKI Naruyasu
佐々木 徳康
Title: SOURCE D'IONS ET IMPLANTEUR D'IONS
Abstract:
La présente invention concerne une technique destinée à réduire autant que possible la quantité d'un produit intermédiaire adhérant à une partie frontale côté alimentation et la surface de paroi intérieure d'un tuyau d'alimentation en gaz, ledit produit intermédiaire étant produit pendant la génération d'ions au moyen de la réaction d'un gaz ionisant et d'un matériau de départ ionique à l'intérieur d'un récipient de génération d'ions d'une source d'ions. Une source d'ions selon la présente invention comporte un récipient (11) de génération d'ions dans lequel des ions sont générés en faisant réagir un gaz ionisant qui est introduit dans le récipient via un tuyau tubulaire (13) d'introduction de gaz et un matériau de départ ionique qui est libéré à l'intérieur du récipient. Le tuyau (13) d'introduction de gaz est configuré de telle façon que le gaz ionisant soit introduit dans un espace interne (13b) du tuyau (13) d'introduction de gaz au moyen d'un tuyau (14) d'alimentation en gaz. L'espace interne (13b) du tuyau (13) d'introduction de gaz est muni d'un élément détachable (30) de refroidissement/piégeage doté d'une unité (33) de refroidissement/piégeage qui refroidit et piège un produit intermédiaire produit à l'intérieur du récipient (11) de génération d'ions. L'unité (33) de refroidissement/piégeage est agencée de façon à ne pas être en contact avec la surface de paroi intérieure du tuyau (13) d'introduction de gaz au voisinage d'une partie frontale (14a) côté alimentation du tuyau (14) d'alimentation en gaz dans l'espace interne (13b) du tuyau (13) d'introduction de gaz.