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1. (WO2018185893) DISPOSITIF D'EXTRACTION DE ZONE NON MESURÉE, DISPOSITIF DE GUIDAGE DE TRAVAIL ET PROCÉDÉ DE GUIDAGE DE TRAVAIL

Pub. No.:    WO/2018/185893    International Application No.:    PCT/JP2017/014280
Publication Date: Fri Oct 12 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Apr 06 01:59:59 CEST 2017
IPC: G01B 21/20
B05C 11/00
G01B 21/08
Applicants: NIKON CORPORATION
株式会社ニコン
Inventors: MATSUHIRA, Masaya
松平 昌也
Title: DISPOSITIF D'EXTRACTION DE ZONE NON MESURÉE, DISPOSITIF DE GUIDAGE DE TRAVAIL ET PROCÉDÉ DE GUIDAGE DE TRAVAIL
Abstract:
L'invention concerne un dispositif d'extraction de zone non mesurée pourvu d'une unité de mesure de position pour mesurer des informations de position pour chaque partie d'un objet à mesurer, d'une unité d'acquisition d'image pour acquérir des informations d'image pour les parties en cours de mesure de l'objet à mesurer qui ont été mesurées par l'unité de mesure de position, d'une unité de génération d'image globale pour générer des informations d'image globale pour l'objet en cours de mesure à partir des informations d'image pour chaque partie en cours de mesure, et d'une unité d'extraction de partie non mesurée pour extraire une partie où des informations de position pour l'objet à mesurer ne sont pas mesurées sur la base des informations d'image globale.