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1. (WO2018185891) DISPOSITIF D'ANALYSE D'ÉTAT DE FILM DE REVÊTEMENT ET DISPOSITIF DE MESURE D'ÉPAISSEUR DE FILM

Pub. No.:    WO/2018/185891    International Application No.:    PCT/JP2017/014278
Publication Date: Fri Oct 12 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Apr 06 01:59:59 CEST 2017
IPC: G01B 21/08
B05C 11/00
G01B 11/02
G01N 21/27
Applicants: NIKON CORPORATION
株式会社ニコン
Inventors: KAYABA, Hiroyuki
栢場 皓之
Title: DISPOSITIF D'ANALYSE D'ÉTAT DE FILM DE REVÊTEMENT ET DISPOSITIF DE MESURE D'ÉPAISSEUR DE FILM
Abstract:
Dispositif d'analyse d'état de film de revêtement comprenant une unité d'acquisition pour acquérir des données de surface concernant une région à revêtir, une unité de tri pour trier à partir des données de surface acquises par l'unité d'acquisition en des données de surface de post-revêtement et des données de surface de pré-revêtement, et une unité d'analyse pour analyser l'état d'un film de revêtement formé dans la région à revêtir sur la base des données de surface de post-revêtement et des données de surface de pré-revêtement triées par l'unité de tri.