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1. (WO2018185835) SYSTÈME DE GÉNÉRATION DE PLASMA

Pub. No.:    WO/2018/185835    International Application No.:    PCT/JP2017/014090
Publication Date: Fri Oct 12 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Apr 05 01:59:59 CEST 2017
IPC: H05H 1/00
H05H 1/26
Applicants: FUJI CORPORATION
株式会社FUJI
Inventors: JINDO, Takahiro
神藤 高広
IKEDO, Toshiyuki
池戸 俊之
Title: SYSTÈME DE GÉNÉRATION DE PLASMA
Abstract:
La présente invention concerne un système de génération de plasma avec lequel il est possible de mesurer plus précisément la température réelle de gaz plasma qui est projeté sur un corps à traiter. Ce système de génération de plasma comprend : une tête de jet qui génère un gaz plasma obtenu par plasmafication d'un gaz de traitement en fournissant de l'énergie électrique à des électrodes disposées dans une chambre de réaction, et projette le gaz plasma généré sur le corps à traiter ; et un capteur de température qui détecte la température du gaz plasma et délivre un signal de détection en fonction de la température détectée. Le capteur de température est positionné dans une position éloignée de l'orifice de jet qui projette le gaz plasma de la tête de jet, et qui projette le gaz plasma à partir de la tête de jet. La tête de jet est constituée de manière à pouvoir se déplacer entre le corps à traiter et le capteur de température.