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1. (WO2018185499) SYSTÈME DE SONDE DE BALAYAGE QUI COMMANDE L'ANGLE D'INCLINAISON DE LA POINTE DE SONDE

Pub. No.:    WO/2018/185499    International Application No.:    PCT/GB2018/050933
Publication Date: Fri Oct 12 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Apr 07 01:59:59 CEST 2018
IPC: G01Q 10/06
Applicants: INFINITESIMA LIMITED
Inventors: HUMPHRIS, Andrew
Title: SYSTÈME DE SONDE DE BALAYAGE QUI COMMANDE L'ANGLE D'INCLINAISON DE LA POINTE DE SONDE
Abstract:
L'invention concerne un procédé de balayage d'une caractéristique à l'aide d'une sonde, la sonde comprenant un support en porte-à-faux, un porte-à-faux s'étendant du support en porte-à-faux à une extrémité libre et une pointe de sonde, portée par l'extrémité libre du porte-à-faux. Une orientation de la sonde est mesurée par rapport à une surface de référence afin d'obtenir une mesure d'orientation de sonde. La surface de référence définit un axe de surface de référence, qui est perpendiculaire à la surface de référence, et la pointe de sonde a un angle d'inclinaison de référence par rapport à l'axe de surface de référence. Une forme du porte-à-faux est modifiée en fonction de la mesure d'orientation de sonde, de sorte que la pointe de sonde se déplace par rapport au support en porte-à-faux et que l'angle d'inclinaison de référence diminue d'un premier angle d'inclinaison de référence à un second angle d'inclinaison de référence. Une surface d'échantillon est balayée par la sonde, la surface d'échantillon définissant un axe de surface d'échantillon, qui est normal à la surface d'échantillon, et la pointe de sonde a un angle d'inclinaison de balayage par rapport à l'axe de surface d'échantillon. Pendant le balayage de la surface d'échantillon, le support en porte-à-faux est déplacé de sorte que la pointe de sonde soit insérée dans un élément de la surface d'échantillon alors que l'angle d'inclinaison de balayage est au-dessous du premier angle d'inclinaison de référence.