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1. (WO2018185262) PROCÉDÉ SERVANT À FABRIQUER UN CONTACT TRAVERSANT CONDUCTEUR POUR UN SUBSTRAT, AINSI QUE CONTACT TRAVERSANT CONDUCTEUR

Pub. No.:    WO/2018/185262    International Application No.:    PCT/EP2018/058818
Publication Date: Fri Oct 12 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Apr 07 01:59:59 CEST 2018
IPC: H01L 21/768
H01L 23/48
Applicants: ROBERT BOSCH GMBH
Inventors: CLASSEN, Johannes
GENTER, Simon
SCHELLING, Christoph
Title: PROCÉDÉ SERVANT À FABRIQUER UN CONTACT TRAVERSANT CONDUCTEUR POUR UN SUBSTRAT, AINSI QUE CONTACT TRAVERSANT CONDUCTEUR
Abstract:
L'invention concerne un procédé servant à fabriquer un contact traversant conducteur pour un substrat (1). Le contact traversant comporte un composant métallique (2). Une première structure (3) conductrice est disposée sur ou dans l'environnement d'une surface (19) du substrat (1). Une deuxième structure (4) conductrice est disposée sur ou dans l'environnement d'une autre surface (20) du substrat (1). Une première étape du procédé consiste à disposer une structure réticulaire (5) au moins en partie au-dessus de la surface (19), la structure réticulaire (5) comportant un groupe d'orifices (6). Une deuxième étape du procédé, suivant la première étape, consiste à effectuer une étape de gravure, au cours de laquelle au moins une tranchée (7) est générée à la fois dans le substrat (1) et au moins en partie sous le groupe d'orifices (6). L'invention est caractérisée en ce qu'une étape de métallisation est effectuée lors d'une cinquième étape suivant la deuxième étape. Au cours de l'étape de métallisation, le composant métallique (2) est disposé au moins en partie dans la tranchée (7). Le composant métallique (2) est réalisé au cours de l'étape de métallisation de telle manière que le composant métallique (2) fait partie d'un système de fermeture qui ferme la tranchée (7) dans la zone de la surface (19).