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1. (WO2018185159) STRUCTURE DE SUBSTRAT POUR UN CAPTEUR DE GAZ OU UNE SOURCE DE LUMIÈRE INFRAROUGE

Pub. No.:    WO/2018/185159    International Application No.:    PCT/EP2018/058601
Publication Date: Fri Oct 12 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Apr 05 01:59:59 CEST 2018
IPC: G01N 21/3504
G01N 27/12
G01J 3/10
G01N 21/25
H05B 3/00
H01L 23/15
Applicants: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
Inventors: HEDLER, Harry
POHLE, Roland
ZAPF, Jörg
Title: STRUCTURE DE SUBSTRAT POUR UN CAPTEUR DE GAZ OU UNE SOURCE DE LUMIÈRE INFRAROUGE
Abstract:
L'invention concerne une structure de substrat (10) pour un capteur de gaz ou une source de lumière infrarouge, comprenant : un support de substrat (11) comprenant un matériau céramique ou semi-conducteur ; une puce de substrat qui est divisée en un cadre de puce (14) et une zone de membrane présentant une membrane (15) et qui est disposée sur le support de substrat (11), l'épaisseur de la membrane (15) étant inférieure à 200 μm, et le cadre de puce (14), la membrane (15) et le support de substrat (11) formant une cavité (22) qui est limitée d'un premier côté par la membrane (15) et d'un deuxième côté par le support de substrat (11) ; un élément réfléchissant (16) qui est disposé dans la cavité (22) sur le deuxième côté sur le support de substrat (11).