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1. (WO2018184456) COMPOSANT DIÉLECTRIQUE HYPERFRÉQUENCE ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION

Pub. No.:    WO/2018/184456    International Application No.:    PCT/CN2018/079103
Publication Date: Fri Oct 12 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Mar 16 00:59:59 CET 2018
IPC: C23C 14/48
C23C 14/20
C23C 14/18
C23C 14/32
C23C 28/02
Applicants: RICHVIEW ELECTRONICS CO., LTD.
武汉光谷创元电子有限公司
Inventors: WANG, Zhijian
王志建
SONG, Honglin
宋红林
WU, Xianglan
吴香兰
BAI, Siping
白四平
Title: COMPOSANT DIÉLECTRIQUE HYPERFRÉQUENCE ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
Abstract:
Cette invention concerne un composant diélectrique hyperfréquence (100) comprenant un substrat diélectrique hyperfréquence (101) et une couche métallique, où la couche métallique est liée à une surface du substrat diélectrique hyperfréquence (101). La couche métallique comprend une couche germe conductrice et une couche d'épaississement métallique (105). La couche germe conductrice est constituée d'une couche d'implantation ionique (103) implantée dans la surface du substrat diélectrique hyperfréquence (101) et d'une couche de dépôt de plasma (104). La couche d'épaississement métallique (105) adhère à la couche de dépôt de plasma (104). Un procédé de fabrication du composant diélectrique hyperfréquence (100) selon l'invention est en outre décrit.