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1. (WO2018184287) PUCE DE DÉTECTEUR AMÉLIORÉE À BASE DE DBR-ET D'INGAN POREUX AYANT UNE CAVITÉ RÉSONANTE

Pub. No.:    WO/2018/184287    International Application No.:    PCT/CN2017/086854
Publication Date: Fri Oct 12 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Jun 02 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 31/0232
Applicants: INSTITUTE OF SEMICONDUCTORS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES
中国科学院半导体研究所
Inventors: ZHAO, Lixia
赵丽霞
LIU, Lei
刘磊
YANG, Chao
杨超
Title: PUCE DE DÉTECTEUR AMÉLIORÉE À BASE DE DBR-ET D'INGAN POREUX AYANT UNE CAVITÉ RÉSONANTE
Abstract:
L'invention concerne une puce de détecteur améliorée à base de DBR et d'InGaN poreux ayant une cavité résonante. La puce comprend : un substrat (10); une couche tampon (11) formée sur le substrat (10); une couche DBR poreuse inférieure (12) formée sur la couche tampon (11); une couche de GaN de type n (13) formée sur la couche DBR poreuse inférieure (12) et ayant une plateforme inférieure (13') sur un côté et une saillie sur l'autre côté; une région active (14) formée sur la couche de GaN de type n (13); une couche de GaN de type p (15) formée sur la région active (14); une couche de passivation de paroi latérale (20) formée sur une surface supérieure d'une partie de la couche de GaN de type p (15), et sur des parois latérales de la partie saillante de la couche de GaN de type n (13), la région active (14) et la couche de GaN de type p (150), une fenêtre étant disposée au niveau d'une partie centrale de la couche de passivation de paroi latérale (20) sur la surface supérieure de la couche de GaN de type p (15); une couche conductrice transparente (16) formée sur la couche de passivation de paroi latérale (20) et sur la couche de GaN de type p (15) au niveau de la fenêtre; une électrode négative (18) formée sur la plateforme de la couche de GaN de type n (13); une électrode positive (19) fabriquée à la périphérie d'une surface supérieure de la couche de passivation de paroi latérale (20); et une couche DBR diélectrique supérieure (17) formée sur la couche conductrice transparente (16) et l'électrode positive (19).