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1. (WO2018184191) CAPTEUR DE PRESSION DIFFÉRENTIELLE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION ASSOCIÉ

Pub. No.:    WO/2018/184191    International Application No.:    PCT/CN2017/079675
Publication Date: Fri Oct 12 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Apr 08 01:59:59 CEST 2017
IPC: G01L 9/02
Applicants: FORMOSA MEASUREMENT TECHNOLOGY INC. LTD.
沛喆科技股份有限公司
Inventors: HSU, Chin-Fu
许晋福
CHEN, Yuan-chieh
陈源杰
LIN, Chih-yung
林志勇
CHEN, Shih-pin
陈世斌
Title: CAPTEUR DE PRESSION DIFFÉRENTIELLE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION ASSOCIÉ
Abstract:
L'invention concerne un capteur de pression différentielle comportant une conduite de gaz (12), formée dans une plaque (10) de support de CI , et deux trous d'air (13), en communication avec la conduite de gaz (12) et disposés sur la surface supérieure de la plaque (10) de support de CI. Une puce de détection de pression (30) est intégrée à l'un des trous d'air (13) sur la plaque (10) de support de CI, et un couvercle supérieur (40) est collé et appliqué sur la surface supérieure de la plaque (10) de support de CI ; deux cavités (411) sont disposées sur le couvercle supérieur (40) et correspondent aux positions des deux trous d'air (13), et deux conduits d'air (42), respectivement raccordés aux cavités (411), sont disposés sur le couvercle supérieur (40). Lors de l'utilisation, la présente invention s'applique à une carte de circuit imprimé qui est guidée par les deux trous d'air (13) et par la conduite de gaz (12), de sorte que les côtés avant et arrière de la puce de détection de pression (30) détectent simultanément un gaz à haute pression et un gaz à basse pression entrés par les deux tuyaux d'air (42), et que les fonctions de transmission de signaux électriques et de transmission de pression de gaz sont assurées selon une technologie de plaques (10) de support de circuit intégré, éprouvées et produites en masse, ce qui permet de réduire considérablement les difficultés et les coûts de fabrication.