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1. (WO2018184033) PROCÉDÉ POUR AMÉLIORER L'ISOLATION ET LA RÉDUCTION DE VIBRATIONS DE SOCLE/PLOT D'OUTIL D'ÉQUIPEMENT DE TRAITEMENT DE SEMI-CONDUCTEUR

Pub. No.:    WO/2018/184033    International Application No.:    PCT/US2018/029438
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Apr 26 01:59:59 CEST 2018
IPC: F16M 7/00
F16F 15/04
H01L 21/67
H01L 21/687
Applicants: SK COMMERCIAL CONSTRUCTION, INC.
Inventors: KIM-WHITTY, Suk, K.
Title: PROCÉDÉ POUR AMÉLIORER L'ISOLATION ET LA RÉDUCTION DE VIBRATIONS DE SOCLE/PLOT D'OUTIL D'ÉQUIPEMENT DE TRAITEMENT DE SEMI-CONDUCTEUR
Abstract:
La présente invention concerne un procédé pour améliorer l'isolation des vibrations dans le niveau de traitement de semi-conducteurs inhibant des fréquences de vibration transmises par l'intermédiaire d'une structure de construction à partir d'outils de production, de pompes, de compresseurs, de refroidisseurs, d'AHU (unités de traitement d'air), et la circulation des bruits de chocs sur un système de plancher surélevé sur des socles et des plots d'outil d'affecter des procédés de fabrication de semi-conducteurs. Des progrès et une évolution technologique rapides dans l'industrie des semi-conducteurs exigent une diminution rapide des tailles de nœuds de puce de semi-conducteur à une valeur nanométrique à un seul chiffre. Compte tenu de ces avancées, les systèmes de socle d'outil nécessitent également des spécifications plus strictes pour une rigidité et une isolation/réduction des vibrations. Certains outils clés utilisés dans le procédé de fabrication de semi-conducteurs nécessitent une barrière améliorée contre les interférences électromagnétiques (IEM), car la perturbation des interférences électromagnétiques dégrade les performances des outils de traitement de semi-conducteurs qui sont indispensables au procédé de fabrication et au taux de rendement de production.