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1. (WO2018183867) FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEUR EN TROIS DIMENSIONS

Pub. No.:    WO/2018/183867    International Application No.:    PCT/US2018/025428
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Mar 31 01:59:59 CEST 2018
IPC: H01L 21/3213
Applicants: NIELSON SCIENTIFIC, LLC
Inventors: NIELSON, Gregory Nolan
Title: FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEUR EN TROIS DIMENSIONS
Abstract:
La présente invention concerne diverses technologies ayant trait à la gravure électrochimique d'un semi-conducteur commandée au moyen d'un laser qui émet de la lumière ayant une énergie inférieure à une énergie de bande interdite du semi-conducteur.