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1. (WO2018183755) SURVEILLANCE D'OXYDES DE SURFACE SUR DES COUCHES D'ENSEMENCEMENT PENDANT UNE ÉLECTRODÉPOSITION

Pub. No.:    WO/2018/183755    International Application No.:    PCT/US2018/025265
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Mar 30 01:59:59 CEST 2018
IPC: H01L 21/66
H01L 21/288
Applicants: LAM RESEARCH CORPORATION
Inventors: HUANG, Ludan
BROGAN, Lee J.
SPURLIN, Tighe A.
GHONGADI, Shantinath
REID, Jonathan David
RANJAN, Manish
PENNINGTON, Bryan
BERRY, Clifford Raymond
Title: SURVEILLANCE D'OXYDES DE SURFACE SUR DES COUCHES D'ENSEMENCEMENT PENDANT UNE ÉLECTRODÉPOSITION
Abstract:
L'invention concerne des procédés et un appareil permettant de déterminer si un substrat comprend une quantité inacceptablement élevée d'oxyde sur sa surface. Le substrat est généralement un substrat devant être électrodéposé. La détermination peut être effectuée directement dans un appareil d'électrodéposition, pendant la partie initiale d'un processus d'électrodéposition. La détermination peut consister à immerger le substrat dans un électrolyte en appliquant une tension ou un courant particuliers pendant ou immédiatement après l'immersion ; et à enregistrer une réponse en courant ou en tension sur ce même laps de temps. Le courant ou la tension appliqué(e) peut être nul(le) ou non nul(le). En comparant la réponse en courant ou la réponse en tension à un courant de seuil, à une tension de seuil ou à un temps de seuil, on peut déterminer si le substrat contient une quantité d'oxyde inacceptablement élevée sur sa surface. Le courant de seuil, la tension de seuil et/ou le temps de seuil peuvent être sélectionnés sur la base d'une procédure d'étalonnage.