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1. (WO2018182799) PROCÉDÉS ET APPAREIL DESTINÉS À UNE MÉMOIRE TRIDIMENSIONNELLE NON VOLATILE

Pub. No.:    WO/2018/182799    International Application No.:    PCT/US2017/063680
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Nov 30 00:59:59 CET 2017
IPC: H01L 45/00
H01L 27/24
Applicants: SANDISK TECHNOLOGIES LLC
Inventors: BANDYOPADHYAY, Abhijit
PETTI, Christopher J.
NGUYEN, Natalie
LE, Brian
Title: PROCÉDÉS ET APPAREIL DESTINÉS À UNE MÉMOIRE TRIDIMENSIONNELLE NON VOLATILE
Abstract:
L'invention concerne un procédé qui consiste à former une ligne de bits au-dessus d'un substrat ; à former une ligne de mots au-dessus du substrat et former une cellule de mémoire non volatile, entre la ligne de bits et la ligne de mots. La cellule de mémoire non volatile comprend un matériel de mémoire non volatile, couplé en série avec un élément d'isolement. L'élément d'isolation comprend une première électrode, une seconde électrode et une couche semi-conductrice, ainsi qu'une couche barrière disposée entre la première électrode et la seconde électrode.