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1. (WO2018182738) TRANSISTORS EN COUCHES MINCES À LONGUEUR DE GRILLE RÉGLÉE PAR UN ESPACEUR

Pub. No.:    WO/2018/182738    International Application No.:    PCT/US2017/025593
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Apr 01 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 29/417
H01L 29/49
H01L 29/786
Applicants: INTEL CORPORATION
Inventors: SHARMA, Abhishek A.
LE, Van H.
DEWEY, Gilbert
SHIVARAMAN, Shriram
WANG, Yih
GHANI, Tahir
KAVALIEROS, Jack T.
Title: TRANSISTORS EN COUCHES MINCES À LONGUEUR DE GRILLE RÉGLÉE PAR UN ESPACEUR
Abstract:
Certains modes de réalisation de la présente invention concernent des techniques destinées à un dispositif à semi-conducteur comprenant un TFT doté d'une électrode de grille à longueur de grille définie par un espaceur. Des modes de réalisation peuvent comprendre une électrode de grille au-dessus d'un substrat, une couche de canal au-dessus de l'électrode de grille, ainsi qu'une électrode source, une électrode drain et un espaceur au-dessus de la couche de canal. L'électrode drain peut être séparée de l'électrode source par l'espaceur. L'électrode drain et l'électrode source peuvent présenter différentes largeurs ou comprendre différents matériaux. En outre, l'espaceur peut chevaucher l'électrode de grille, de sorte que la longueur de grille de l'électrode de grille peut être définie par la largeur de l'espaceur. D'autres modes de réalisation peuvent être décrits et/ou revendiqués.