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1. (WO2018182664) GRILLE POUR TRANSISTOR

Pub. No.:    WO/2018/182664    International Application No.:    PCT/US2017/025248
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Apr 01 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 29/786
H01L 27/108
Applicants: INTEL CORPORATION
Inventors: LE, Van H.
SHARMA, Abhishek A.
DEWEY, Gilbert W.
PILLARISETTY, Ravi
SHIVARAMAN, Shriram
GHANI, Tahir
Title: GRILLE POUR TRANSISTOR
Abstract:
L'invention concerne des substrats, des ensembles et des techniques destinés à un transistor, le transistor comprenant une grille, la grille comprenant une partie intérieure et une partie extérieure, un diélectrique, le diélectrique venant en butée contre la partie intérieure de la grille, un canal sur le diélectrique, et un nitrure, le nitrure venant en butée contre une partie de la partie extérieure de la grille. Dans un exemple, une partie du diélectrique se trouve entre le canal et le nitrure.