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1. (WO2018182657) COMPENSATION DU COEFFICIENT DE TEMPÉRATURE DE LA FRÉQUENCE DE RÉSONANCE À L'AIDE DE MATÉRIAUX DE DÉPÔT DE COUCHE ATOMIQUE

Pub. No.:    WO/2018/182657    International Application No.:    PCT/US2017/025219
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Mar 31 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/02
H01L 21/205
H01L 21/67
Applicants: INTEL CORPORATION
Inventors: JUN, Kimin
MOHAMMED, Edris
LIN, Kevin
Title: COMPENSATION DU COEFFICIENT DE TEMPÉRATURE DE LA FRÉQUENCE DE RÉSONANCE À L'AIDE DE MATÉRIAUX DE DÉPÔT DE COUCHE ATOMIQUE
Abstract:
L'invention concerne des dispositifs électroniques, des dispositifs informatiques et des procédés associés. Un dispositif électronique comprend un dispositif acoustique sur ou dans une structure semi-conductrice, et un matériau de compensation du coefficient de la température de fréquence de résonance (TCF) placé à proximité du matériau résonateur et comprenant un matériau de dépôt de couche atomique (ALD) ayant une TCF de compensation qui compense au moins sensiblement une TCF du matériau résonateur. Un procédé comprend la disposition d'un matériau résonateur ayant une TCF sur ou dans une structure semi-conductrice, et la disposition, par ALD, d'un matériau d'ALD à proximité du matériau résonateur.