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1. (WO2018182655) RETRAIT D'UN NANOFIL LE PLUS BAS À PARTIR D'UN EMPILEMENT DE DISPOSITIFS À NANOFILS

Pub. No.:    WO/2018/182655    International Application No.:    PCT/US2017/025207
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Mar 31 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 29/06
H01L 29/41
H01L 21/02
H01L 29/78
Applicants: INTEL CORPORATION
Inventors: LILAK, Aaron
KEYS, Patrick
MA, Sean
CEA, Stephen
MEHANDRU, Rishabh
Title: RETRAIT D'UN NANOFIL LE PLUS BAS À PARTIR D'UN EMPILEMENT DE DISPOSITIFS À NANOFILS
Abstract:
L'invention concerne un appareil qui comprend : une pluralité de transistors à nanofils empilés verticalement, chaque transistor à nanofils de la pluralité de transistors à nanofils comprenant un nanofil correspondant d'une pluralité de nanofils; et un empilement de grilles, l'empilement de grilles encerclant complètement au moins une section de chaque nanofil de la pluralité de nanofils.