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1. (WO2018182505) SYSTÈME DE FABRICATION DE MICRO-DISPOSITIFS

Pub. No.:    WO/2018/182505    International Application No.:    PCT/SG2017/050182
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Apr 01 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/02
Applicants: NEITAS PTE. LTD.
Inventors: YOSHIDA, Masataka
Title: SYSTÈME DE FABRICATION DE MICRO-DISPOSITIFS
Abstract:
Cette invention a pour but de fabriquer efficacement un micro-dispositif avec un faible investissement. Huit premiers dispositifs de fabrication de micro-dispositifs (2-1 à 2-8) effectuent un traitement en une ou plusieurs étapes prédéterminées parmi une pluralité d'étapes de fabrication d'un type prédéterminé de micro-dispositif ayant un substrat d'une taille prédéterminée en tant qu'unité. Un second dispositif de fabrication de micro-dispositifs (3) effectue, en tant que traitement en une ou plusieurs étapes prédéterminées parmi la pluralité d'étapes qui sont différentes des étapes du traitement effectuées par les n dispositifs de fabrication de micro-dispositifs, un traitement collectif sur deux unités ou plus.