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1. (WO2018181912) APPAREIL D'UNITÉ MOBILE, APPAREIL D'EXPOSITION, PROCÉDÉ DE FABRICATION D'ÉCRAN PLAT, PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF, ET PROCÉDÉ D'ENTRAÎNEMENT D'UNITÉ MOBILE
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N° de publication : WO/2018/181912 N° de la demande internationale : PCT/JP2018/013656
Date de publication : 04.10.2018 Date de dépôt international : 30.03.2018
CIB :
G05D 3/12 (2006.01) ,G03F 7/20 (2006.01) ,G05D 3/00 (2006.01) ,H01L 21/68 (2006.01)
G PHYSIQUE
05
COMMANDE; RÉGULATION
D
SYSTÈMES DE COMMANDE OU DE RÉGULATION DES VARIABLES NON ÉLECTRIQUES
3
Commande de la position ou de la direction
12
utilisant la contre-réaction
G PHYSIQUE
03
PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
F
PRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7
Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
20
Exposition; Appareillages à cet effet
G PHYSIQUE
05
COMMANDE; RÉGULATION
D
SYSTÈMES DE COMMANDE OU DE RÉGULATION DES VARIABLES NON ÉLECTRIQUES
3
Commande de la position ou de la direction
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67
Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
68
pour le positionnement, l'orientation ou l'alignement
Déposants : NIKON CORPORATION[JP/JP]; 15-3, Konan 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1086290, JP
Inventeurs : HARA, Atsushi; JP
SAKATA, Koichi; JP
HASHIBA, Seiji; JP
Mandataire : TATEISHI, Atsuji; JP
Données relatives à la priorité :
2017-07101331.03.2017JP
Titre (EN) MOBILE UNIT APPARATUS, EXPOSURE APPARATUS, METHOD FOR MANUFACTURING FLAT PANEL DISPLAY, METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE, AND METHOD FOR DRIVING MOBILE UNIT
(FR) APPAREIL D'UNITÉ MOBILE, APPAREIL D'EXPOSITION, PROCÉDÉ DE FABRICATION D'ÉCRAN PLAT, PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF, ET PROCÉDÉ D'ENTRAÎNEMENT D'UNITÉ MOBILE
(JA) 移動体装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、及び移動体の駆動方法
Abrégé :
(EN) A substrate stage apparatus (20) comprising: a fine stage (24); an X coarse stage (34); a Y coarse stage (32); an actuator unit (70X1) including a voice coil motor (72X) whereby a thrust that moves the X coarse stage relative to the Y coarse stage is imparted to the fine stage as a first thrust, and an air actuator (74X) whereby a thrust is imparted to the fine stage as a second thrust greater than the first thrust, the actuator unit moving the fine stage and the X coarse stage relative to the Y coarse stage; and a control system for controlling the voice coil motor and the air actuator and controlling at least one actuator from among the voice coil motor and the air actuator on the basis of the thrust required when the fine stage and the X coarse stage are moved relative to the Y coarse stage.
(FR) La présente invention concerne un appareil à étages de substrat (20) qui comprend : un étage fin (24) ; un étage grossier X (34) ; un étage grossier Y (32) ; une unité d'actionneur (70X1) comprenant un moteur à bobine acoustique (72X), selon lequel une poussée qui déplace l'étage grossier X par rapport à l'étage grossier Y est transmise à l'étage fin en tant que première poussée, et un actionneur pneumatique (74X) selon lequel une poussée est transmise à l'étage fin en tant que seconde poussée supérieure à la première poussée, l'unité d'actionneur déplaçant l'étage fin et l'étage grossier X par rapport à l'étage grossier Y ; et un système de commande pour commander le moteur à bobine acoustique et l'actionneur pneumatique et commander au moins un actionneur parmi le moteur à bobine acoustique et l'actionneur pneumatique sur la base de la poussée requise lorsque l'étage fin et l'étage épais X sont déplacés par rapport à l'étage épais Y.
(JA) 基板ステージ装置(20)は、微動ステージ(24)と、X粗動ステージ(34)と、Y粗動ステージ(32)と、X粗動ステージをY粗動ステージに対して相対移動させる推力を、第1推力として微動ステージに付与するボイスコイルモータ(72X)と、第1推力よりも大きな第2推力として微動ステージに付与するエアアクチュエータ(74X)とを含み、微動ステージとX粗動ステージとをY粗動ステージに対して相対移動させるアクチュエータユニット(70X)と、ボイスコイルモータ及びエアアクチュエータを制御し、微動ステージとX粗動ステージとをY粗動ステージに対して相対移動させる際に要求される推力に基づいて、ボイスコイルモータ及びエアアクチュエータの少なくとも一方のアクチュエータを制御する制御系と、を備える。
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)