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1. (WO2018181896) COMPOSITION D'AGENT DE GRAVURE POUR GRAVER UNE COUCHE DE TITANE OU UNE COUCHE CONTENANT DU TITANE, ET PROCÉDÉ DE GRAVURE

Pub. No.:    WO/2018/181896    International Application No.:    PCT/JP2018/013603
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Mar 31 01:59:59 CEST 2018
IPC: H01L 21/308
H01L 21/28
H01L 21/336
H01L 29/786
Applicants: KANTO KAGAKU KABUSHIKI KAISHA
関東化學株式会社
Inventors: SASAKI, Ryou
佐々木 遼
TAKAHASHI, Hideki
高橋 秀樹
YOKOYAMA, Taiga
横山 大雅
Title: COMPOSITION D'AGENT DE GRAVURE POUR GRAVER UNE COUCHE DE TITANE OU UNE COUCHE CONTENANT DU TITANE, ET PROCÉDÉ DE GRAVURE
Abstract:
Cette invention concerne : une composition d'agent de gravure pour du titane ou un alliage de titane, la composition d'agent de gravure étant utilisée pour graver sélectivement une couche de titane ou une couche contenant du titane formée sur une couche de semi-conducteur à oxyde ; et un procédé de gravure utilisant ladite composition d'agent de gravure. La composition d'agent de gravure selon l'invention, qui est utilisée pour graver une couche de titane ou une couche contenant du titane sur un semi-conducteur à oxyde, comprend : un composé contenant des ions ammonium ; du peroxyde d'hydrogène ; et un composé basique, la composition d'agent de gravure ayant un pH de 7 à 11.