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1. (WO2018181409) APPAREIL À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES

Pub. No.:    WO/2018/181409    International Application No.:    PCT/JP2018/012609
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Mar 28 01:59:59 CEST 2018
IPC: H01J 37/20
Applicants: HITACHI HIGH-TECH SCIENCE CORPORATION
株式会社日立ハイテクサイエンス
Inventors: FUJII Toshiaki
藤井 利昭
TOMIMATSU Satoshi
富松 聡
SUZUKI Hiroyuki
鈴木 浩之
Title: APPAREIL À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES
Abstract:
La présente invention concerne un appareil à faisceau de particules chargées, comprenant : un barillet à faisceau de particules chargées servant à émettre des faisceaux de particules chargées sur un échantillon ; une base d'inclinaison (64A) comportant une première partie de maintien d'échantillon apte à maintenir l'échantillon et maintenant la première partie de maintien d'échantillon pour qu'elle puisse tourner autour d'un axe (S1) ; une base d'inclinaison (64B) comportant une seconde partie de maintien d'échantillon apte à maintenir l'échantillon et maintenant la seconde partie de maintien d'échantillon pour qu'elle puisse tourner autour d'un axe (S2) parallèle à l'axe (S1) ; et une partie d'application de force d'entraînement qui applique aux bases d'inclinaison (64A, 64B) une force d'entraînement servant à tourner les bases d'inclinaison (64A, 64B) en association l'une avec l'autre.