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1. (WO2018181407) DISPOSITIF D’OBSERVATION DE SECTION TRANSVERSALE ET PROCÉDÉ DE COMMANDE

Pub. No.:    WO/2018/181407    International Application No.:    PCT/JP2018/012607
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Mar 28 01:59:59 CEST 2018
IPC: H01J 37/22
H01J 37/317
Applicants: HITACHI HIGH-TECH SCIENCE CORPORATION
株式会社日立ハイテクサイエンス
Inventors: MAN Xin
満 欣
AZUMA Junzo
東 淳三
Title: DISPOSITIF D’OBSERVATION DE SECTION TRANSVERSALE ET PROCÉDÉ DE COMMANDE
Abstract:
La présente invention concerne un dispositif d’observation de section transversale qui projette sur un objet un faisceau de particules chargées pour exposer de façon répétée des sections transversales de l’objet, bombarde au moins certaines des sections transversales parmi la pluralité de sections transversales exposées avec un faisceau de particules chargées pour acquérir des informations d’image de section transversale décrivant chacune des au moins certaines sections transversales, génère pour chacune de ces sections transversales une image de section transversale décrite par les informations d’image de section transversale acquises, et génère une image tridimensionnelle dans laquelle les images de section transversale générées sont empilées conjointement. Ce dispositif d’observation de section transversale affiche une première image tridimensionnelle conjointement avec une deuxième image tridimensionnelle, la première image tridimensionnelle étant une image tridimensionnelle issue de l’empilement de premières images de section transversale, qui sont des images de section transversale des sections transversales décrites par les informations d’image de section transversale correspondantes acquises sur la base d’une première condition, et la deuxième image tridimensionnelle étant une image tridimensionnelle issue de l’empilement de deuxièmes images de section transversale, qui sont des images de section transversale des sections transversales décrites par les informations d’image de section transversale correspondantes acquises sur la base d’une deuxième condition.