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1. (WO2018181347) TAMPON DE POLISSAGE

Pub. No.:    WO/2018/181347    International Application No.:    PCT/JP2018/012483
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Mar 28 01:59:59 CEST 2018
IPC: B24B 37/26
B24B 37/24
C08L 67/02
C08L 69/00
C08L 81/02
H01L 21/304
Applicants: FURUKAWA ELECTRIC CO., LTD.
古河電気工業株式会社
Inventors: YOKOTA Nobutoshi
横田 亘俊
SUGIYAMA Shota
杉山 翔太
NARIMATSU Takashi
成松 貴
Title: TAMPON DE POLISSAGE
Abstract:
L'objet de la présente invention est de fournir un tampon de polissage possédant d'excellentes performances de polissage et d'excellentes caractéristiques d'évacuation de boue de polissage. Ce tampon de polissage comporte une partie de polissage et une partie rainure dans une surface de polissage, la surface de la partie rainure comprenant une partie non expansée, et une partie expansée apparaissant à la surface de la partie de polissage.