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1. (WO2018181344) PROCÉDÉ DE TRAITEMENT ET SYSTÈME DE TRAITEMENT

Pub. No.:    WO/2018/181344    International Application No.:    PCT/JP2018/012480
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Mar 28 01:59:59 CEST 2018
IPC: B22F 3/105
B22F 3/16
B23K 26/146
B23K 26/21
B23K 26/34
B33Y 10/00
B33Y 30/00
Applicants: NIKON CORPORATION
株式会社ニコン
Inventors: SHIBAZAKI, Yuichi
柴崎 祐一
Title: PROCÉDÉ DE TRAITEMENT ET SYSTÈME DE TRAITEMENT
Abstract:
La présente invention concerne un système de traitement comprenant : un dispositif d'alimentation en liquide (20) apte à fournir un liquide ; un dispositif de traitement de liquide pour traiter le liquide (CW) alimenté par le dispositif d'alimentation en liquide de telle sorte que des poches d'état de non immersion dans le liquide sont créées dans certaines régions comprenant une position cible (TA) sur une surface prescrite ; une unité d'émission de faisceau (520) pour émettre des faisceaux (LB1, LB2) en direction de la position cible ; et un dispositif de déplacement (12) pour déplacer la surface prescrite. Les faisceaux sont émis au niveau de la position cible afin d'appliquer un traitement prescrit à la position cible, la position cible ayant été placée dans l'état de non immersion dans le liquide.