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1. (WO2018181130) CORPS FRITTÉ COMPOSITE, ÉLÉMENT DE MANDRIN ÉLECTROSTATIQUE, DISPOSITIF DE MANDRIN ÉLECTROSTATIQUE ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE CORPS FRITTÉ COMPOSITE

Pub. No.:    WO/2018/181130    International Application No.:    PCT/JP2018/012039
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Mar 27 01:59:59 CEST 2018
IPC: C04B 35/117
H01L 21/3065
H01L 21/683
H02N 13/00
Applicants: SUMITOMO OSAKA CEMENT CO., LTD.
住友大阪セメント株式会社
Inventors: HIDAKA Nobuhiro
日▲高▼ 宣浩
KIMURA Naoto
木村 直人
Title: CORPS FRITTÉ COMPOSITE, ÉLÉMENT DE MANDRIN ÉLECTROSTATIQUE, DISPOSITIF DE MANDRIN ÉLECTROSTATIQUE ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE CORPS FRITTÉ COMPOSITE
Abstract:
La présente invention concerne un corps fritté composite d'un matériau céramique comprenant un oxyde métallique, qui est une phase principale, et du carbure de silicium, qui est une sous-phase, des grains cristallins de carbure de silicium étant dispersés dans des grains cristallins d'oxyde métallique et aux frontières entre les grains cristallins d'oxyde métallique, et le rapport des grains cristallins de carbure de silicium dispersés dans les grains cristallins d'oxyde métallique est 25 % ou plus par rapport à la teneur totale en grains cristallins de carbure de silicium en termes de rapport de surface.