Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales

1. (WO2018180545) PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE CIBLE DE PULVÉRISATION CATHODIQUE CYLINDRIQUE ET CIBLE DE PULVÉRISATION CATHODIQUE CYLINDRIQUE

Pub. No.:    WO/2018/180545    International Application No.:    PCT/JP2018/010225
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Mar 16 00:59:59 CET 2018
IPC: C23C 14/34
B23K 1/20
Applicants: MITSUBISHI MATERIALS CORPORATION
三菱マテリアル株式会社
Inventors: OKANO Shin
岡野 晋
NAGASE Toshiyuki
長瀬 敏之
KATO Shinji
加藤 慎司
Title: PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE CIBLE DE PULVÉRISATION CATHODIQUE CYLINDRIQUE ET CIBLE DE PULVÉRISATION CATHODIQUE CYLINDRIQUE
Abstract:
La présente invention concerne un procédé de production d'une cible de pulvérisation cathodique cylindrique, comprenant : une étape d'application de matériau de brasure pour former une couche sous-jacente de brasure sur la surface périphérique interne d'un matériau cible de pulvérisation cathodique et la surface périphérique externe d'un tube de support ; une étape de refroidissement pour refroidir le matériau cible de pulvérisation cathodique et le tube de support après l'étape d'application de matériau de brasure ; une étape d'élimination d'oxyde pour éliminer un oxyde produit sur la surface de la couche sous-jacente de brasure ; et une étape d'assemblage par brasure pour assembler le matériau cible de pulvérisation au tube de support à l'aide d'une brasure.