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1. (WO2018179964) RÉCIPIENT DE STOCKAGE DE SUBSTRAT
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N° de publication : WO/2018/179964 N° de la demande internationale : PCT/JP2018/005296
Date de publication : 04.10.2018 Date de dépôt international : 15.02.2018
CIB :
H01L 21/673 (2006.01) ,B65D 85/30 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67
Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
673
utilisant des supports spécialement adaptés
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
65
MANUTENTION; EMBALLAGE; EMMAGASINAGE; MANIPULATION DES MATÉRIAUX DE FORME PLATE OU FILIFORME
D
RÉCEPTACLES POUR L'EMMAGASINAGE OU LE TRANSPORT D'OBJETS OU DE MATÉRIAUX, p.ex. SACS, TONNEAUX, BOUTEILLES, BOÎTES, BIDONS, CAISSES, BOCAUX, RÉSERVOIRS, TRÉMIES OU CONTENEURS D'EXPÉDITION; ACCESSOIRES OU FERMETURES POUR CES RÉCEPTACLES; ÉLÉMENTS D'EMBALLAGE; PAQUETS
85
Réceptacles, éléments d'emballage ou paquets spécialement adaptés aux objets ou aux matériaux particuliers
30
pour objets particulièrement sensibles aux dommages par chocs ou compression
Déposants : SHIN-ETSU POLYMER CO.,LTD.[JP/JP]; 9, Kandasuda-cho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1010041, JP
Inventeurs : OGAWA Osamu; JP
TOMINAGA Kiminori; JP
Mandataire : SAKAMOTO Tomohiro; JP
Données relatives à la priorité :
2017-06181327.03.2017JP
Titre (EN) SUBSTRATE STORAGE CONTAINER
(FR) RÉCIPIENT DE STOCKAGE DE SUBSTRAT
(JA) 基板収納容器
Abrégé :
(EN) The present invention provides a substrate storage container (1) provided with: a container body (2) that can house a substrate (W); and a gas supply member (50) that can supply a gas (G) from the outside of the container body (2) to an internal space, wherein the container body (2) is formed into a front-open box, and the gas supply member (50) is attached to a bottom surface (2f). The gas supply member (50) is configured such that function units (U; 3R, 3L, U1, U2, U3, U4) for changing the environment of the internal space to a different state are connected so as to be replaceable by being fitted. Thus, a substrate storage container that enables easy replacement of the function units for changing the environment of the internal space can be provided.
(FR) La présente invention concerne un récipient de stockage de substrat (1) comportant : un corps de récipient (2) qui peut loger un substrat (W); et un élément d'alimentation en gaz (50) qui peut fournir un gaz (G) depuis l'extérieur du corps de récipient vers un espace interne, le corps de récipient (2) étant formé dans une boîte à ouverture avant, et l'élément d'alimentation en gaz (50) étant fixé à une surface inférieure (2f). L'élément d'alimentation en gaz (50) est configuré de telle sorte que des unités fonctionnelles (U; 3R, 3L, U1, U2, U3, U4) pour changer l'environnement de l'espace interne à un état différent sont reliées de façon à être remplaçables en étant ajustées. Ainsi, un récipient de stockage de substrat qui permet un remplacement facile des unités fonctionnelles pour changer l'environnement de l'espace interne peut être fourni.
(JA) 本発明は、基板(W)を収納可能な容器本体(2)と、容器本体(2)の外部から内部空間に気体(G)を供給可能な給気部材(50)と、を備え、容器本体(2)をフロントオープンボックスに形成し、底面(2f)に給気部材(50)を取付けた基板収納容器(1)であって、給気部材(50)は、内部空間の環境を異なる状態に変更する機能ユニット(U;3R,3L,U1,U2,U3,U4)が、嵌合によって交換可能に接続されているものである。 これにより、内部空間の環境を変化させる機能ユニットを、簡単に交換することができる基板収納容器を提供することができる。
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)