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1. (WO2018179770) CIBLE EN TUNGSTÈNE

Pub. No.:    WO/2018/179770    International Application No.:    PCT/JP2018/002559
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Jan 27 00:59:59 CET 2018
IPC: C23C 14/34
B22F 3/14
B22F 3/15
Applicants: JX NIPPON MINING & METALS CORPORATION
JX金属株式会社
Inventors: DASAI,Takafumi
太齋 貴文
SENDA,Shinichiro
仙田 真一郎
Title: CIBLE EN TUNGSTÈNE
Abstract:
La présente invention concerne une cible de pulvérisation cathodique en tungstène avec laquelle une vitesse de dépôt qui ne varie pas beaucoup pendant la durée de vie de la cible est obtenue. Dans la cible de pulvérisation cathodique en tungstène, lorsqu’une section transversale perpendiculaire au plan pulvérisé est analysée par cartographie de pôle inverse au moyen d’un procédé de diffraction de rétrodiffusion d’électrons, la proportion en aire de grains cristallins dans lesquels les plans {100}, {110} et {111} sont orientés est de 30 % ou moins pour chacun de ces plans orientés, et la proportion d’aire totale de grains cristallins dans lesquels des plans autres que les plans {100}, {110} et {111} sont orientés est de 46 % ou plus.