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1. (WO2018179553) CIBLE DE PULVÉRISATION SEGMENTÉE

Pub. No.:    WO/2018/179553    International Application No.:    PCT/JP2017/038946
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Oct 28 01:59:59 CEST 2017
IPC: C23C 14/34
Applicants: MITSUI MINING & SMELTING CO., LTD.
三井金属鉱業株式会社
Inventors: MIWA, Masahiro
三輪 昌宏
SASAKI, Hiroei
佐々木 宏衛
LIN, Chun-Ting
林 俊庭
WU, Sin-Huei
呉 信輝
Title: CIBLE DE PULVÉRISATION SEGMENTÉE
Abstract:
Selon un aspect d'un mode de réalisation, la présente invention concerne une cible de pulvérisation segmentée (1) formée par liaison de multiples matériaux cibles (10) à un substrat (20), où des surfaces plates (12) sont formées sur chacune de certaines des faces latérales (11) d'une paire de matériaux cibles (10) agencée dans au moins certains des segments (40) formés par aménagement d'espaces entre les multiples matériaux cibles (10). Concernant l'espacement entre les surfaces plates (12) qui sont en regard l'une de l'autre dans un segment (40), l'espacement (Lt) de la partie la plus éloignée du substrat (20) est supérieur à l'espacement (Lb) de la partie la plus proche du substrat (20), et la rugosité de surface Ra des surfaces plates (12) est inférieure ou égale à 0,3 µm.