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1. (WO2018179417) DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE LUMIÈRE ULTRAVIOLETTE EXTRÊME

Pub. No.:    WO/2018/179417    International Application No.:    PCT/JP2017/013816
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Apr 01 01:59:59 CEST 2017
IPC: G03F 7/20
H05G 2/00
Applicants: GIGAPHOTON INC.
ギガフォトン株式会社
Inventors: UEDA Atsushi
植田 篤
TAKAYAMA Akihiro
高山 明大
Title: DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE LUMIÈRE ULTRAVIOLETTE EXTRÊME
Abstract:
La présente invention concerne un dispositif de génération de lumière ultraviolette extrême qui est pourvu de : une chambre ; un miroir de collecte de lumière EUV positionné à l’intérieur de la chambre ; et une section d’évacuation de gaz hydrogène positionnée à l’intérieur de la chambre, ladite section d’évacuation de gaz hydrogène ayant une ouverture configurée de façon à évacuer le gaz d’hydrogène de la périphérie du miroir de collecte de lumière EUV vers le côté interne, et un premier canal d’écoulement de milieu de refroidissement configuré de façon à faire passer un milieu de refroidissement.