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1. (WO2018179201) APPAREIL D'ASPIRATION, APPAREIL SUPPORT ET APPAREIL DE FABRICATION DE DISPOSITIF ÉLECTROLUMINESCENT

Pub. No.:    WO/2018/179201    International Application No.:    PCT/JP2017/013182
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Mar 31 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/683
B23Q 3/08
Applicants: SHARP KABUSHIKI KAISHA
シャープ株式会社
Inventors: MASHIRO, Fumihiko
間城 文彦
Title: APPAREIL D'ASPIRATION, APPAREIL SUPPORT ET APPAREIL DE FABRICATION DE DISPOSITIF ÉLECTROLUMINESCENT
Abstract:
L'invention concerne un appareil d'aspiration apte à supprimer la déformation d'un sujet, ladite déformation étant survenue en raison de l'aspiration. Un appareil d'aspiration (100) est pourvu d'une ou de plusieurs ventouses et aspire un film de surface inférieure (10) par l'intermédiaire des ventouses. Les ventouses sont formées d'un matériau poreux ayant un diamètre de pore moyen de 1,0 µm ou moins.