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1. (WO2018178634) PROCÉDÉ DE TRANSFERT DE MATÉRIAU EN COUCHE MINCE
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N° de publication : WO/2018/178634 N° de la demande internationale : PCT/GB2018/050733
Date de publication : 04.10.2018 Date de dépôt international : 21.03.2018
CIB :
B81C 1/00 (2006.01)
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
81
TECHNOLOGIE DES MICROSTRUCTURES
C
PROCÉDÉS OU APPAREILS SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À LA FABRICATION OU AU TRAITEMENT DE DISPOSITIFS OU DE SYSTÈMES À MICROSTRUCTURE
1
Fabrication ou traitement de dispositifs ou de systèmes dans ou sur un substrat
Déposants : THE UNIVERSITY OF MANCHESTER[GB/GB]; Oxford Road Manchester M13 9PL, GB
Inventeurs : VIJAYARAGHAVAN, Aravind; GB
BERGER, Christian; GB
Mandataire : APPLEYARD LEES IP LLP; 15 Clare Road Halifax Yorkshire HX1 2HY, GB
Données relatives à la priorité :
1704950.328.03.2017GB
Titre (EN) THIN FILM MATERIAL TRANSFER METHOD
(FR) PROCÉDÉ DE TRANSFERT DE MATÉRIAU EN COUCHE MINCE
Abrégé :
(EN) A method of transferring a two-dimensional material such as graphene onto a target substrate for use in the fabrication of micro- and nano-electromechanical systems (MEMS and NEMS). The method comprises providing the two-dimensional material in a first lower state of strain; and applying the two-dimensional material onto the target substrate whilst the two-dimensional material is under a second higher state of strain. A device comprising a strained two- dimensional material suspended over a cavity is also disclosed.
(FR) L'invention concerne un procédé de transfert d'un matériau bidimensionnel tel que le graphène sur un substrat cible pour utilisation dans la fabrication de systèmes micro- et nano-électromécaniques (MEMS et NEMS). Le procédé comprend l'utilisation du matériau bidimensionnel dans un premier état de moindre contrainte ; et l'application du matériau bidimensionnel sur le substrat cible alors qu'il se trouve dans un deuxième état de plus forte contrainte. L'invention concerne également un dispositif comprenant un matériau bidimensionnel sous contrainte suspendu au-dessus d'une cavité.
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)