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1. (WO2018178562) PROCÉDÉ D'AJUSTEMENT DE L'ÉTAT DE CONTRAINTE D'UN FILM PIÉZOÉLECTRIQUE ET DISPOSITIF A ONDE ACOUSTIQUE EMPLOYANT UN TEL FILM

Pub. No.:    WO/2018/178562    International Application No.:    PCT/FR2018/050744
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Mar 28 01:59:59 CEST 2018
IPC: H01L 41/08
H01L 21/02
H01L 21/20
H01L 41/319
H03H 3/02
Applicants: SOITEC
Inventors: BETHOUX, Jean-Marc
SINQUIN, Yann
RADISSON, Damien
Title: PROCÉDÉ D'AJUSTEMENT DE L'ÉTAT DE CONTRAINTE D'UN FILM PIÉZOÉLECTRIQUE ET DISPOSITIF A ONDE ACOUSTIQUE EMPLOYANT UN TEL FILM
Abstract:
Il est divulgué un procédé d'ajustement de l'état de contrainte d'un film piézoélectrique (4), présentant à température ambiante un premier état de contrainte, le procédé comprenant une étape de formation d'un assemblage (1) comportant un support (2) présentant un coefficient d'expansion thermique; une couche de fluage (3) disposée sur le support, et le film piézoélectrique (4) disposé sur la couche de fluage, le film piézoélectrique présentant un coefficient d'expansion thermique différent de celui du support. Le procédé comporte également une étape de traitement thermiquement de l'assemblage portant l'assemblage à une température de traitement supérieure à la température de transition vitreuse de la couche de fluage. L'invention porte également sur un procédé de fabrication d'un dispositif à onde acoustique comprenant la couche piézoélectrique dont l'état de contrainte a été ajustée.