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1. (WO2018178289) GÉNÉRATEUR DE PLASMA, DISPOSITIF DE TRAITEMENT PAR PLASMA ET PROCÉDÉ SERVANT À FOURNIR PAR IMPULSIONS UNE PUISSANCE ÉLECTRIQUE

Pub. No.:    WO/2018/178289    International Application No.:    PCT/EP2018/058193
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Mar 30 01:59:59 CEST 2018
IPC: H01J 37/32
Applicants: CENTROTHERM INTERNATIONAL AG
Inventors: SCHULZ, Sebastian Hubertus
PERNAU, Thomas
NACHBAUER, Florian
WALK, Felix
Title: GÉNÉRATEUR DE PLASMA, DISPOSITIF DE TRAITEMENT PAR PLASMA ET PROCÉDÉ SERVANT À FOURNIR PAR IMPULSIONS UNE PUISSANCE ÉLECTRIQUE
Abstract:
L'invention concerne un générateur de plasma et un procédé servant à fournir par impulsions une puissance électrique présentant une fréquence d'au moins 40 KHz sur au moins deux chambres de processus. Le générateur de plasma comporte les éléments suivants : une unité de commande qui est adaptée pour recevoir et évaluer des données de processus portant sur des processus dans les deux chambres de processus ou plus ; une partie de réseau pouvant être régulée pourvue d'une sortie qui est adaptée pour envoyer, en réponse à un signal de commande provenant de l'unité de commande, sur sa sortie, un courant continu présentant une tension et/ou une intensité prédéfinies ; et une unité de commutation pourvue d'une première entrée qui est reliée à la sortie de la partie de réseau, et d'au moins deux sorties d'unité de commutation destinées à être reliées respectivement à une des deux chambres de processus ou plus. L'unité de commutation est adaptée pour former à partir d'un courant continu, sur l'entrée, un courant alternatif présentant une fréquence prédéfinie d'au moins 40 KHz sous la forme d'un signal de sortie et pour envoyer le signal de sortie, en réponse à un signal de commande provenant de l'unité de commande, sous la forme d'une impulsion pour des durées d'impulsion prédéfinies au choix, à une des sorties d'unité de commutation. L'unité de commande est adaptée pour coordonner des demandes de puissance des deux chambres de processus ou plus et pour piloter la partie de réseau et l'unité de commutation de telle manière que respectivement sensiblement la puissance correspondante aux demandes de puissance est fournie sur un laps de temps sous la forme d'impulsions sur les sorties d'unité de commutation respectives disponibles dans les chambres de processus. Les impulsions des chambres de processus respectives sont décalées les unes par rapport aux autres dans le temps de telle sorte que les chambres de processus peuvent fonctionner de manière simultanée.