Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales

1. (WO2018177898) DISPOSITIF DE DÉPÔT DE REVÊTEMENT ASSISTÉ PAR DES ÉLECTRONS SUR DES SUBSTRATS ET PROCÉDÉ CORRESPONDANT

Pub. No.:    WO/2018/177898    International Application No.:    PCT/EP2018/057357
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Mar 23 00:59:59 CET 2018
IPC: C23C 14/12
C23C 14/32
Applicants: TECHNISCHE HOCHSCHULE WILDAU
Inventors: SCHRADER, Sigurd
GRYTSENKO, Kostyantyn
HEINRICH, Friedhelm
KSIANZOU, Viachaslau
Title: DISPOSITIF DE DÉPÔT DE REVÊTEMENT ASSISTÉ PAR DES ÉLECTRONS SUR DES SUBSTRATS ET PROCÉDÉ CORRESPONDANT
Abstract:
L’invention concerne un dispositif (100) de dépôt de revêtement assisté par des électrons sur des substrats (60), lequel dispositif comprend un récipient à vide (90) conçu pour délivrer un vide (80). De plus, le dispositif (100) comprend au moins un élément support (70) qui est conçu pour recevoir le substrat (60) à pourvoir d’un revêtement ainsi qu’une source de matière (50), notamment une unité formant évaporateur destinée à céder des molécules organiques. Selon l’invention, le dispositif (100) comprend également une source d’électrons (40) destinée à la libération d’électrons (30) à l’intérieur du récipient à vide (90). L’invention concerne un procédé correspondant destiné au dépôt d’un revêtement assisté par des électrons sur un substrat (60).