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1. (WO2018177853) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ SERVANT À DÉTERMINER LA CONCENTRATION D'UNE VAPEUR
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international    Formuler une observation

N° de publication : WO/2018/177853 N° de la demande internationale : PCT/EP2018/057229
Date de publication : 04.10.2018 Date de dépôt international : 22.03.2018
CIB :
C23C 14/04 (2006.01) ,C23C 14/54 (2006.01) ,G01N 29/036 (2006.01)
C CHIMIE; MÉTALLURGIE
23
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
C
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
14
Revêtement par évaporation sous vide, pulvérisation cathodique ou implantation d'ions du matériau composant le revêtement
04
Revêtement de parties déterminées de la surface, p.ex. au moyen de masques
C CHIMIE; MÉTALLURGIE
23
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
C
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
14
Revêtement par évaporation sous vide, pulvérisation cathodique ou implantation d'ions du matériau composant le revêtement
22
caractérisé par le procédé de revêtement
54
Commande ou régulation du processus de revêtement
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
N
RECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
29
Recherche ou analyse des matériaux par l'emploi d'ondes ultrasonores, sonores ou infrasonores; Visualisation de l'intérieur d'objets par transmission d'ondes ultrasonores ou sonores à travers l'objet
02
Analyse de fluides
036
en mesurant la fréquence ou la résonance des ondes acoustiques
Déposants : AIXTRON SE[DE/DE]; Dornkaulstraße 2 52134 Herzogenrath, DE
Inventeurs : LONG, Michael; DE
Mandataire : GRUNDMANN, Dirk; DE
MÜLLER, Enno; DE
RIEDER, Hans-Joachim; DE
BRÖTZ, Helmut; DE
BOURREE, Hendrik; DE
Données relatives à la priorité :
10 2017 106 968.231.03.2017DE
Titre (EN) DEVICE AND METHOD FOR DETERMINING THE CONCENTRATION OF A VAPOR
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ SERVANT À DÉTERMINER LA CONCENTRATION D'UNE VAPEUR
(DE) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG DER KONZENTRATION EINES DAMPFES
Abrégé :
(EN) The invention relates to a device for determining the partial pressure or concentration of a vapor in a volume (2) having a sensor element (5), which can be caused to oscillate and temperature-controlled to a temperature below the condensation temperature of the vapor, and which has an oscillation frequency that is influenced by a mass accumulation formed by condensed vapor on the sensor surface (6) thereof, wherein the rear side (7) of the sensor element (5) pointing away from the sensor surface (6) contacts a thermal transfer surface (9) of a thermal transfer element. The thermal transfer element is formed from an electrically heatable heating element (8), which is connected to a cooling element (11) in a thermally conductive manner by a thermal dissipation surface (18), which is different from the thermal transfer surface (9), wherein the thermal transfer surface (9) extends substantially parallel to the thermal dissipation surface (18).
(FR) L'invention concerne un dispositif servant à déterminer la pression partielle ou la concentration d'une vapeur dans un volume (2) à l'aide d'un corps de capteur (5) pouvant être amené en oscillation et dont la température peut être réglée à une température inférieure à la température de condensation de la vapeur, dont la fréquence d'oscillation est influencée par une accumulation de masse formée par la vapeur condensée sur la surface de capteur (6), la face arrière (7) opposée à la surface de capteur (6) du corps de capteur (5) reposant contre une surface de transfert de chaleur (9) d'un corps de transfert de chaleur. Le corps de transfert de chaleur est constitué d'un élément chauffant (8) pouvant être chauffé électriquement, qui est relié à un élément de refroidissement (11) de manière thermoconductrice à l'aide d'une surface d'évacuation de chaleur (18) distincte de la surface de transfert de chaleur (9), la surface de transfert de chaleur (9) étant sensiblement parallèle à la surface d'évacuation de chaleur (18).
(DE) Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Bestimmung des Partialdrucks oder der Konzentration eines Dampfes in einem Volumen (2) mit einem in eine Os- zillation bringbaren, auf eine Temperatur unterhalb der Kondensationstempe- raturdes Dampfes temperierbaren Sensorkörper (5), dessen Oszillationsfre- quenz durch eine auf seiner Sensoroberfläche (6) von kondensiertem Dampf gebildete Massenanhäufung beeinflusst wird, wobei die von der Sensoroberflä- che (6) weg weisende Rückseite (7) des Sensorkörpers (5) an einer Wärmeüber- tragungsfläche (9) eines Wärmeübertragungskörpers anliegt. Der Wärmeüber- tragungskörper wird von einem elektrisch beheizbaren Heizelement (8) ausge- bildet, das mit einer von der Wärmeübertragungsfläche (9) verschiedenen Wärmeableitfläche (18) wärmeleitend mit einem Kühlelement (11) verbunden ist, wobei die Wärmeübertragungsfläche (9) im Wesentlichen parallel zur Wär- meableitfläche (18) verläuft
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Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)