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1. (WO2018177743) PROCÉDÉ DE REVÊTEMENT D'UN COMPOSANT ET APPAREIL POUR COMPOSANTS À GESTION DE FLUIDE

Pub. No.:    WO/2018/177743    International Application No.:    PCT/EP2018/056269
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Mar 14 00:59:59 CET 2018
IPC: C23C 28/04
C23C 28/00
C23C 16/40
C23C 16/455
Applicants: LINDE AG
Inventors: ADAM, Peter
HARRISON, Stephen
Title: PROCÉDÉ DE REVÊTEMENT D'UN COMPOSANT ET APPAREIL POUR COMPOSANTS À GESTION DE FLUIDE
Abstract:
Cette invention concerne un procédé de revêtement d'un composant à humidifier à l'aide d'un fluide réactif comprenant le dépôt (302, 304, 306, 308) d'une couche de germe constituée par un premier oxyde en une position adjacente à une surface du composant. Une couche constituée par un second oxyde et une couche constituée par le premier oxyde sont déposées en alternance (310 312 314, 416, …), pour former ainsi un empilement conformationnel multicouche comprenant la couche de germe constituée par le premier oxyde. La couche de germe constituée par le premier oxyde, les couches suivantes constituées par le premier oxyde et les couches constituées par le second oxyde sont déposées à l'aide d'une technique de dépôt de couche atomique.