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1. (WO2018177601) FOUR D’OXYDATION

Pub. No.:    WO/2018/177601    International Application No.:    PCT/EP2018/000146
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Mar 30 01:59:59 CEST 2018
IPC: F27B 17/00
F27D 99/00
H01L 21/02
H01L 21/67
Applicants: SOITEC
Inventors: HENAULT, Arnaud
COCCHI, Anne-Sophie
PAILLAS, Julien
BOTTIERO, Joel
LANDRU, Didier
KOKONGCHUCK, Oleg
Title: FOUR D’OXYDATION
Abstract:
La présente invention concerne un four d’oxydation de tranche de semi-conducteur comprenant une torche (12) raccordée à un tube de four (11) par un raccordement fluidique (14) et un moyen de réglage d’un débit de gaz en aval de la torche (12) dans la direction du tube de four (11).