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1. (WO2018167163) DISPOSITIF DE GÉNÉRATION D'UN PLASMA NON THERMIQUE À PRESSION ATMOSPHÉRIQUE ET PROCÉDÉ DE RÉGULATION DE FRÉQUENCE D'UN TRANSFORMATEUR PIÉZO-ÉLECTRIQUE

Pub. No.:    WO/2018/167163    International Application No.:    PCT/EP2018/056424
Publication Date: Fri Sep 21 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Mar 15 00:59:59 CET 2018
IPC: H05H 1/24
H01L 41/04
Applicants: TDK ELECTRONICS AG
RELYON PLASMA GMBH
Inventors: WEILGUNI, Michael
NETTESHEIM, Stefan
Title: DISPOSITIF DE GÉNÉRATION D'UN PLASMA NON THERMIQUE À PRESSION ATMOSPHÉRIQUE ET PROCÉDÉ DE RÉGULATION DE FRÉQUENCE D'UN TRANSFORMATEUR PIÉZO-ÉLECTRIQUE
Abstract:
L'invention concerne un dispositif de génération d'un plasma non thermique à pression atmosphérique, comprenant un transformateur piézoélectrique (1), un circuit d'excitation (11) qui est conçu pour appliquer une tension alternative présentant une fréquence d'excitation, en tant que tension d'entrée au transformateur piézoélectrique (1), et une sonde de champ (15) qui est conçue pour mesurer une intensité d'un champ électrique généré par le transformateur piézoélectrique (1), le circuit d'excitation (11) étant conçu pour adapter la fréquence d'excitation en tenant compte des résultats de mesure de la sonde de champ (15) de telle sorte que l'intensité de champ est maximisée. Selon un autre aspect, la présente invention concerne un procédé pour réguler la fréquence d'un transformateur piézoélectrique.