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1. (WO2018167112) COMPOSITIONS LITHOGRAPHIQUES ET LEURS PROCÉDÉS D'UTILISATION

Pub. No.:    WO/2018/167112    International Application No.:    PCT/EP2018/056322
Publication Date: Fri Sep 21 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Mar 15 00:59:59 CET 2018
IPC: C08G 65/40
C08J 3/00
C08K 5/00
C08G 75/20
Applicants: MERCK PATENT GMBH
Inventors: YAO, Huirong
WOLFER, Elizabeth
CHO, JoonYeon
POLISHCHUK, Orest
RAHMAN, Dalil
MCKENZIE, Douglas
Title: COMPOSITIONS LITHOGRAPHIQUES ET LEURS PROCÉDÉS D'UTILISATION
Abstract:
L'invention concerne des compositions de masquage pour la prévention de la contamination métallique au niveau de bords d'un substrat lors de la fabrication de dispositifs électroniques. Les compositions de masquage ont un motif de structure (I). L'invention concerne également des procédés d'utilisation des compositions de masquage pour la fabrication de dispositifs électroniques.