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1. (WO2018166953) DISPOSITIF POUR DÉPOSER UNE COUCHE STRUCTURÉE SUR UN SUBSTRAT ET PROCÉDÉ POUR INSTALLER CE DISPOSITIF
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N° de publication : WO/2018/166953 N° de la demande internationale : PCT/EP2018/056033
Date de publication : 20.09.2018 Date de dépôt international : 12.03.2018
CIB :
C23C 14/04 (2006.01) ,C23C 16/04 (2006.01)
C CHIMIE; MÉTALLURGIE
23
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
C
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
14
Revêtement par évaporation sous vide, pulvérisation cathodique ou implantation d'ions du matériau composant le revêtement
04
Revêtement de parties déterminées de la surface, p.ex. au moyen de masques
C CHIMIE; MÉTALLURGIE
23
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
C
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
16
Revêtement chimique par décomposition de composés gazeux, ne laissant pas de produits de réaction du matériau de la surface dans le revêtement, c. à d. procédés de dépôt chimique en phase vapeur (CVD)
04
Revêtement de parties déterminées de la surface, p.ex. au moyen de masques
Déposants : AIXTRON SE[DE/DE]; Dornkaulstraße 2 52134 Herzogenrath, DE
Inventeurs : OUDES, Jaap; NL
JAKOB, Markus; DE
JANSSEN, Henricus Wilhelmus Aloysius; NL
LEONTJEVS, Vladimirs; DE
Mandataire : GRUNDMANN, Dirk; DE
MÜLLER, Enno; DE
RIEDER, Hans-Joachim; DE
BRÖTZ, Helmut; DE
BOURREE, Hendrik; DE
Données relatives à la priorité :
10 2017 105 374.314.03.2017DE
Titre (EN) DEVICE FOR SEPARATING A STRUCTURED LAYER ON A SUBSTRATE, AND METHOD FOR SETTING UP THE DEVICE
(FR) DISPOSITIF POUR DÉPOSER UNE COUCHE STRUCTURÉE SUR UN SUBSTRAT ET PROCÉDÉ POUR INSTALLER CE DISPOSITIF
(DE) VORRICHTUNG ZUM ABSCHEIDEN EINER STRUKTURIERTEN SCHICHT AUF EINEM SUBSTRAT SOWIE VERFAHREN ZUM EINRICHTEN DER VORRICHTUNG
Abrégé :
(EN) The invention relates to a device for separating a layer on a substrate (13), said layer being structured by placing a mask (4), having an adjustment device (100, 200) for adjusting the position of a mask carrier (6) with respect to a carrier frame (7). The adjustment device (100, 200) has, on the carrier frame (7), an adjustment lever (101, 201) that is mounted to rotate about an axis of rotation (107, 207) of a pivot bearing (106, 206) and that has a first arm (102, 202) and a second arm (103, 203), wherein the second arm (103, 203) acts on the mask carrier (6) and a control rod (108, 208) that can be vertically displaced by an actuator (121, 221) acts on the first arm (102, 202). In the event of a vertical adjustment device (100), the second arm (103) and the first arm (102) extend in a horizontal direction, wherein the second arm (103) acts on a tappet (110) that is connected to the mask carrier (6). In the event of a horizontal adjustment device (200), the second arm (203) extends in a vertical direction and the first arm (202) extends in a horizontal direction, wherein the second arm (203) is connected to the mask carrier (6) by means of a connecting rod (220) articulated on the second arm.
(FR) L'invention concerne un dispositif pour déposer une couche sur un substrat (13), structurée par application d'un masque (4), comprenant un dispositif d'ajustement (100, 200) pour ajuster la position d'un porte-masque (6) par rapport à un cadre porteur (7). Le dispositif d'ajustement (100, 200) comprend un levier d'ajustement (101, 201) monté sur le cadre porteur (7) de manière à pouvoir effectuer un mouvement de rotation autour d'un axe de rotation (107, 207) d'un palier rotatif (106, 206) et comportant un premier bras (102, 202) et un deuxième bras (103, 203). Ce deuxième bras (103, 203) est en contact avec le porte-masque (6) et une tige de commande (108, 208) déplaçable verticalement par un actionneur (121, 221) est en contact avec le premier bras (102, 202). Dans un dispositif d'ajustement vertical (100), le deuxième bras (103) et le premier bras (102) s'étendent dans la direction horizontale, le deuxième bras (103) étant en contact avec un coulisseau (110) relié au porte-masque (6). Dans un dispositif d'ajustement horizontal (200), le deuxième bras (203) s'étend en direction verticale et le premier bras (202) s'étend en direction horizontale, le deuxième bras (203) étant relié au porte-masque (6) par une bielle (220) articulée sur ledit deuxième bras.
(DE) Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Abscheiden einer durch Auflage einer Maske (4) strukturierten Schicht auf einem Substrat (13), mit einer Justiervorrichtung (100, 200) zur Justierung der Lage eines Maskenträgers (6) gegenüber einem Tragrahmen (7). Die Justiereinrichtung (100, 200) besitzt einen am Tragrahmen (7) um eine Drehachse (107, 207) eines Drehlagers (106, 206) drehbar gelagerten, einen ersten Arm (102, 202) und einen zweiten Arm (103, 203) aufweisenden Justierhebel (101, 201), wobei der zweite Arm (103, 203) am Maskenträger (6) angreift und am ersten Arm (102, 202) eine von einem Aktuator(121, 221) vertikal verlagerbare Steuerstange (108, 208) angreift. Bei einer Vertikaljustiereinrichtung (100)erstreckensich der zweite Arm (103) und der erste Arm (102) in Horizontalrichtung, wobei der zweite Arm (103) an einem Stößel (110) angreift, der mit dem Maskenträger (6) verbunden ist. Bei einer Horizontaljustiereinrichtung (200) erstreckt sich der zweite Arm (203) in Vertikalrichtung und der erste Arm (202) in Horizontalrichtung, wobei der zweite Arm (203) mit einem daran angelenkten Lenker (220) mit dem Maskenträger (6) verbunden ist.
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)