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1. (WO2018166831) CIBLE CYLINDRIQUE DE PULVÉRISATION D'OXYDE DE TITANE ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION

Pub. No.:    WO/2018/166831    International Application No.:    PCT/EP2018/055357
Publication Date: Fri Sep 21 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Mar 06 00:59:59 CET 2018
IPC: C23C 14/34
C03C 17/245
C04B 35/00
C23C 4/16
C23C 4/11
C23C 4/134
Applicants: MATERION ADVANCED MATERIALS GERMANY GMBH
Inventors: SCHULTHEIS, Markus
SIMONS, Christoph
SCHLOTT, Martin
Title: CIBLE CYLINDRIQUE DE PULVÉRISATION D'OXYDE DE TITANE ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
Abstract:
L'invention concerne des cibles cylindriques de pulvérisation connues comprenant un substrat et un matériau cible qui forme une couche sur le substrat, ladite couche a une épaisseur d, ledit matériau cible contenant du TiOx en tant que constituant principal, et x étant compris dans la plage de 1